中古 CANON FPA 5500 iZ+ #9236391 を販売中

CANON FPA 5500 iZ+
ID: 9236391
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
i-Line stepper, 12" 2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZ+は、半導体チップ製造用の高精度な単層マスクを製造するために設計されたウェハステッパーです。この高度なステッパーは、波長365nmの光パルスを放射するレーザダイオードを備えた照明源を利用しており、非常に正確な画像配置が可能です。iZ+は、特許取得済みの画像登録機器であるCANON独自の干渉計を使用して、各層の正確な位置を測定します。CANON FPA-5500IZ+は、業界トップレベルの精度とスループットを実現するために設計された多くの機能を備えています。独自の「フライングナイフ」システムは、各レイヤーを露出させながらマスクの表面に沿って移動する回転刃を使用し、1ミクロンの潜在的な分解能で露出を可能にします。さらに、このデバイス独自のアライメントユニットは、自動アライメントと手動ファインアライメントの両方をサポートし、精度を大幅に向上させます。FPA 5500 IZ++は、7。5インチのフィールドサイズで、高効率の光学系とミラーにより、さまざまなサイズの基板に露出することができます。これにより、ハイエンド家電から先進医療用イメージングデバイスまで、さまざまな種類のチップの製造に最適です。優秀な照明機械はまた関係するすべての層の均一な露出を保障するように設計されています。CANON FPA 5500 IZ+は、化学増幅レジストシステムやビームダウン露光技術などの高度な加工技術を採用し、高速な処理を確実に維持します。ステッパーには、露出している画像を継続的に監視する高度なエラーチェックツールも含まれています。機能豊富なFPA-5500IZ+は、コンシューマーおよびメディカルエレクトロニクスの適切かつタイムリーな生産を保証するために、信頼性と高精度のステッパーを探している半導体企業にとって理想的な選択肢です。その最先端の加工技術は、迅速な製造プロセスを保証し、高度なイメージングおよびアライメントシステムは比類のない精度を保証します。
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