中古 CANON FPA 5000 iZ #9258487 を販売中

CANON FPA 5000 iZは、さまざまな高度なフォトリソグラフィープロセスで優れた性能を実現するために設計されたウェハステッパーです。キヤノン独自のハイスループットイメージング技術を特長とし、0。2 µm以上の高精度で動作します。OPC（光接近補正）やSWI （Subwavelength Imaging）などの最先端レベルの製造技術に最適化されています。FPA 5000 iZの最大プロジェクトサイズは6インチx 6インチで、高解像度の還元光学系を使用して0。2 µmまでの画像処理が可能です。光学パッケージには、照明調整用のメタリックハライドランプとともに、デフォカス/収差補正システムを含む高性能オプティクスが搭載されています。また、高度なパターンカットとステッチソフトウェアを搭載しており、大面積イメージングを活用し、最大4つのウエハを一度に処理することができます。CANON FPA 5000 iZには、フォトリソグラフィープロセスの物理に起因する「マーク」や画像の歪みを最小限に抑えるために設計された高度なシステムも数多く組み込まれています。CANON独自の透過/反射低角干渉（TRLIA）装置により、堆積物のクリティカルな露光角度が自動的に調整されます。また、CANON特許出願中のUltra High Contrast （UHC）ツールにより、高密度で高アスペクト比のパターンのイメージングが可能です。FPA 5000 iZは、リソグラフィ市場で利用可能なトップオブラインのシステムの1つです。これは、ユーザーにさまざまな機能とパフォーマンスと精度の強化レベルを提供します。アセットの先進的な光学、機能、設計により、高品質の画像処理を実現します。さらに、モデルの分散は簡単に調整可能で、ユーザーは異なる深さのフォーカス要件を切り替えることができます。これにより、微細加工の最も要求の厳しい要件を満たすために、優れたレベルの品質、精度、および性能を持つ成果物を得ることができます。