中古 CANON FPA 5000 iZ+ #9237478 を販売中

CANON FPA 5000 iZ+は、高度なアライメントとステッチ技術を備えた汎用性の高いウェーハステッパーです。この装置は、迅速で正確で信頼性の高いウェーハ処理を容易にするように設計されています。高精度、低歪み、汎用性の高いスキャンプロセスを提供します。このシステムは、LCD、 CCD、光学部品、フラットパネルディスプレイ、半導体デバイス製造など、幅広い用途向けに設計されています。このユニットは、最大10nmの精度、0。05nmの再現性、最大50nmの速度を提供するステッピングステージを備えています。ステージは内蔵のモーションオクタプルモータによって駆動され、最大5m/sの高速ウェハ処理を実現します。さらに、スキャン光学系を内蔵し、最大2nmの高精度アライメント機能と50x100 μ mの低歪みを保証します。FPA 5000 iZ+には、さまざまなセンサー、コントローラ、レーザー、カメラ、レーザパルスストップマシンなどの幅広いアクセサリーもあります。センサには、迅速なアライメントとステッチキャリブレーションのための最新のオートキャリブレーション技術が搭載されており、1。5nm未満の再現可能な精度を提供します。コントローラは3Dで正確なウェーハ処理を可能にします。レーザーはウェーハの振動を最小限に抑え、滑らかなスキャンを保証するように設計されています。さらに、カメラは強力な画像処理機能を提供するために統合されています。さらに、レーザパルスストップツールは、過剰露出を避けてウェーハの損傷を最小限に抑えるために、目的の場所でレーザパルスを正確に停止するように設計されています。全体的に、CANON FPA 5000 iZ+は、正確なウェーハ処理に優れた資産です。高度なアライメントとステッチ機能、高精度、低歪み、さまざまな用途に対応する幅広いアクセサリーを備えています。高精度のウェーハ加工に最適で、信頼性と効率の高い生産プロセスを提供します。