中古 CANON FPA 5000 ES4 #9282327 を販売中

CANON FPA 5000 ES4ウェハステッパーは、先進的な半導体リソグラフィ装置です。半導体製造プラント用に設計されたこのステッパーは、高度なプロジェクションオプティクスとリテーナーを使用して、さまざまなウェハ形状とサイズをサポートします。超低レーザー反射設計により、優れた画質と高精度のイメージングが保証されます。また、処理速度が非常に高速であるため、サイクル時間が短縮され、スループット効率が向上し、全体的なコストが削減されます。CANON FPA-5000 ES4は、0。83の卓越したNA （Numerical Aperture）により、優れたパターニング機能を提供します。これにより、広い被写界深度とプロセス緯度の改善を可能にします。9インチ（228。6 mm）の広いフィールドサイズは、ウェーハ処理に柔軟性を提供し、1/6ミリ露光時間は高分解能とスループットレベルを確保し、0.33µmまでの小さな機能を実現します。ステッパーは、高精度のオン軸低減ステアリング装置により再現性を確保し、ウェハと投影光学系の精密アライメントを確保します。また、ウエハフランジの負荷低減と薄型基板の取り扱いを一体化した真空ユニットも搭載しています。このマシンは、統合されたウェーハローダーやストッカー、完全に自動化されたウェーハの検索と移動など、多数のオートメーションオプションと機能を備えています。その高度なリフトレチクルステージは、速度とレチクル配置の精度を向上させるためのアライメント機能の範囲を提供します。このツールは、さまざまなウエハサイズの高精度測定を提供する高度なOCR Air Scannerなど、さまざまなオプションコンポーネントで簡単にアップグレードできます。最後に、FPA-5000 ES 4は、予期せぬ事故の場合にレーザー動作を遮断する緊急停止などの高度な安全機能を備えています。また、ステッパー内および周辺の電気、機械、および環境条件の強力なモニタリングが含まれており、安全で信頼性の高い処理経験を提供します。さらに、この資産は、適用されるすべての安全基準を満たす、グローバルな使用のために認定されています。