中古 CANON FPA 5000 ES4 #9267141 を販売中

CANON FPA 5000 ES4は、デバイス製造におけるリソグラフィのニーズに合わせて設計された専用ウェハステッパーです。製造プロセスにおけるデバイスの一貫性を最大化する高精度で信頼性の高い機器です。CANON FPA-5000 ES4は、モーションコントロールと光学技術をリードし、高解像度イメージング、並列処理機能、ウェハの熱圧縮を最小限に抑えるなどの高度な機能を提供します。これらの機能を組み合わせることで、プロセスの安定性と再現性が大幅に向上します。FPA-5000 ES 4ステッパーは、本体、スキャナー、レーザーダイオードアレイソース、イメージングオプティクス、超精密段階で構成されています。本体にはすべてのシステムコンポーネントが収納されており、スキャナは目的のパターンを作成するために使用されます。このユニットのイメージングオプティクスは最高の解像度を提供します。さらに、レーザダイオードアレイソースは、830nmの露光波長に対して最大許容電力を提供します。ステッパーにはキヤノンの超精密ステージメカニズムが搭載されています。この複合機は、リニアモータによって駆動される2つの直交U軸を備えており、高精度の位置決めツールを提供します。その結果、ステージはウエハとのパターンの最適なアライメントを提供し、オーバーレイ、フォーカシング、歪み補正の点で優れたプロセス性能をもたらします。また、FPA-5000 ES4ステッパーは、ソフトウェア、オートメーション、およびデータ収集ツールの広い範囲を備えています。これにより、リソグラフィープロセスのより効率的な生産と自動化が可能になります。安全性を確保するため、アセットには光学センサ、モーションコントロール、パワーインターロックなど、いくつかの条件付き安全インターロックが組み込まれています。FPA 5000 ES4ステッパーは、デバイス生産において卓越した性能と安定性を提供するために設計された信頼性の高い高度なモデルです。モーションコントロール、光学、ステージメカニズムなどの最先端の技術により、高い精度とプロセス制御を実現し、生産におけるデバイスの一貫性に優れています。