中古 CANON FPA 5000 ES4 #9038993 を販売中
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販売された
ID: 9038993
KrF scanner, 8"
Process: DUV, LITHO - Krf Scanner
Software version: V54.06C
Wafer specification:
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
Wafer cassette: 8" PP Miraial
SMIF Interface: No
System Configuration:
Magnification: 1/4
NA: 0.80~0.50
Field size: 26 x 33 mm
Illumination (Conventional): 0.85~0.30 (at NA=0.80)
Illumination (Special): Auto selection from 4 conditions
Condition sample: NA 0.80 Outer, 0.850 Inner, 0.567 (Annular)
Light source: KrF (248 nm) Laser Cymer ELS-7300 30 W, 4 kHz
Reticle blind setting area: Max. Field size, Min: 0.4 x 0.4 mm
Reticle Alignment:
Alignment sensor: Image processing method
Alignment light source: 660±15 nm
Reticle holder size: 6"
Scan speed: 1400 mm/sec
Interferrometer: 3 axis
Wafer Alignment:
Alignment sensor: Image processing method
Alignment light source: 590±60 nm (wavelength selectable)
Scan speed: 350 mm/sec
Interferrometer: 5 axis
Pre-alignment: Edge detection system (non-contact)
Chuck maintenance: Auto chuck clean and load/unload system
Inline type: Left inline
Library #: 25
Reticle case type: Nikon type
Particle checker: pellicle particle checker (PPC)
Chemical filter type: Amine and Organic
2003 vintage.
CANON FPA 5000 ES4は、半導体加工のために設計された先進的なウェーハステッパーです。高精度、高速、低コストのデバイス生産を実現するオープンアーキテクチャツールです。このツールは、広角視野の高いNA対物レンズを備えており、最大倍率解像度でデバイス機能を正確にパターン化することができます。CANON FPA-5000 ES4ステッパーは、デュアルイメージングパス、高速オートフォーカス装置、大型マルチチャンネル露光エリアも提供しています。FPA-5000 ES 4は、最大直径7。4mmまでの最大視野で、あらゆるウエハサイズに対応できるように最適化されており、ほぼすべての薄膜成膜プロセスに対応できます。また、自動車およびライフサイエンスのアプリケーションやMEMSプロセスにも対応できるため、非常に幅広いアプリケーションに対応できます。イメージングガイダンスユニット、高感度オートフォーカス装置、マルチパターニング技術を搭載しています。また、複数のエクスポージャーを同時に使用して、正確で忠実なレプリケーションをサポートできます。高度なFPA 5000 ES4ステッパーは、自動化されたアライメント、統合されたウェーハトランスポートツール、精密なウェーハクランプと精密ステージ用の特殊ツールなどの高度な機能を備え、最先端の要件を満たすように設計されています。最先端の光学系と精密なアライメントにより、高いスループット率と最高解像度の画像を実現します。さらに、ステッパー資産はサイクルタイムと拒否率の両方を削減するように設計されています。FPA-5000 ES4ステッパーは半導体加工のための顕著な用具です。高精度・高速加工を低コストで実現し、あらゆるウェーハ加工に最適です。精度と効率を最大限に高めるための高度な機能とツールを備えており、堅牢な設計により、最も要求の厳しい環境でも安心して操作できます。デバイス製造、自動車、MEMS、その他のウェーハプロセスにかかわらず、CANON FPA-5000 ES 4は単なる最先端技術ではありません。それはすべての仕事が迅速かつ正確に処理されることを保証します。
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