中古 CANON FPA 5000 ES4 #293817779 を販売中

CANON FPA 5000 ES4
ID: 293817779
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.50-0.80 Resolution: 180 nm DCO: 25 Throughput (WPH): 65-300.
CANON FPA 5000 ES4は、ウェーハ加工からウェーハ検査まで、優れた性能を発揮するよう設計された、最先端の設計の完全自動ウェーハステッパーです。キヤノンの高度なリソグラフィ技術とステッパー技術をモジュラーレイアウトで組み合わせ、迅速かつ効率的な作業を実現します。ES4モデルは、精度を確保するために独立したプレアライナーを備えた統合ステージシステムを備えています。最大8秒間の高速ウェーハ動作により、ハイスループットを実現し、さまざまなウェーハサイズに対応できます。精度を最大化するために、このユニットは高度なレーザースキャナを備えた革新的な光学イメージングアーキテクチャを備えています。高精度のリニアステッパーとフィーダは、レンズにウェーハを完全に揃えます。この高度なウェーハアライメントマシンはまた、光学系の角度、フォーカス、位置のin situ監視と調整を可能にします。ステッパーは、汚れのないクリーンな光学ツールデザインを採用し、環境条件でも最高のパフォーマンスを発揮します。また、CANON FPA-5000 ES4は、ハイダイナミックレンジCMOSカメラと長時間動作距離顕微鏡からなる高解像度イメージング資産を提供しています。これにより、複数の実行および環境にわたって一貫した結果が保証されます。ステッパーは、CANONの包括的でユーザーフレンドリーなソフトウェアプラットフォームを利用しています。ユーザーの直感的なソフトウェアは、実験を容易にし、大量生産のための設計と生産プロセスを合理化します。高度な生産性を実現するFPA-5000 ES 4は、プロセスのシンプルさを向上させることで、ユーザーが最適化された状態を維持し、希望するスループットプロジェクトを達成するのに役立ちます。このモデルは、卓越した性能と精度を必要とする高精度アプリケーションに適しています。豊富な機能を備えたES4は、さまざまなアプリケーションやプロセスに適しています。
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