中古 CANON FPA 5000 ES3 #9293798 を販売中

CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepperは、半導体メーカーがウェーハ上に小型で複雑なパターンを作成するために使用する高精度、高スループットのリソグラフィーツールです。このツールは、高度なウェーハアライメントと画像処理技術を組み合わせて、高速スループットで正確なパターン作成を保証します。最新世代のガウスビーム光学を活用し、細かく複雑なパターンを生成します。ファインピッチ解像度やマルチゾーンフォーカス制御などの機能により、マスクのイメージング領域全体で正しいフォーカスを達成できます。このツールは、さまざまな基板やレジストを処理することができるため、ユーザーに汎用性と柔軟性を提供します。さらに、独自の画像処理アルゴリズムと照明技術により、歪みの少ないパターンやエッジ定義が可能で、製造コストを削減できます。CANON FPA 5000ES3のモジュール構造は、その柔軟性にさらに貢献し、特定のユーザーの要件を満たすためにプロセスパラメータを変更することが容易になります。これには、照明源、光学部品、および裏面コーティングを調整する機能が含まれます。さらに、マルチステップ機能により、エッチング、乾燥、強化などのステップを同時に実行できます。このツールはまた、強化された熱制御システムを備えています。このユニットは、温度変化によるウェーハの歪みを防ぎ、イメージングに必要な最適な温度を維持するように設計されています。また、温度を0。2°C単位まで調整し、最高精度を確保することができます。ソフトウェアコンポーネントに関しては、FPA-5000 ES3はウェーハプロセスの監視とデータ分析を容易にするための包括的なユーザーインターフェイスを提供しています。さらに、ウェーハイメージングプロセスを最適化するために設計されたさまざまなコーティングパッケージをユーザーに提供します。オールインオールのFPA 5000ES3ウェーハステッパーは、半導体デバイスを製造するための高度で非常に効果的なリソグラフィーツールです。ユーザーフレンドリーなさまざまな機能を備えており、ユーザーは歪みを最小限に抑えて正確なパターンを達成できます。その強化された熱制御ツールと包括的なソフトウェアコンポーネントは、ユーザーとメーカーに高品質のウェーハを製造するための信頼性と費用対効果の高い方法を提供します。