中古 CANON FPA 5000 ES3 #9272923 を販売中

CANON FPA 5000 ES3ウェーハステッパーは、先進的な半導体製造に使用される最先端のリソグラフィ装置です。このシステムは、スループットを高め、露出カセットの正確なアライメントを可能にする2段階の翻訳ステージを備えています。CANON FPA 5000ES3、 6つのCCDセンサーと高解像度露光窓を利用して、MPE （Massively Parallel Exposure）ユニットの設計機能を組み込みました。この露出窓の設計により、家電用高収率集積チップの製造など、さまざまな製造アプリケーションが可能になります。FPA-5000 ES3は最大5000xの倍率を提供し、解像度は0。25umまでです。このレンズは、凸面、凹面、マルチフインデックスレンズなどの代替露光光学を含む8つのレンズ構成を使用しています。点光パターニングなどの特殊な照明源も設計バリエーションに使用できます。また、すべてのショットで均一な露光強度を実現する高感度シャッターメカニズムを備えています。このツールは、世界クラスの画像処理アセットを備えており、さまざまな画像チューニングオプションを提供しています。ソフトウェアは、照明効果を調整するための高度な技術を利用して、フォトパターンを適用し、画像の精度と一貫性を高めるために、その他の調整を行います。このソフトウェアは画像データベースも提供しており、ユーザーはパターン、レシピ、およびその他の実行設定を保存および表示できます。CANON FPA 5000 ES 3は、深いUV、 EUV、 X線などの高度なリソグラフィ用途をサポートするように設計されています。また、高効率なエアベアリングステージ、CPUとRAMを内蔵したほか、キヤノンの先進ウエハステッピングシステムとのハードウェア/ソフトウェア互換性など、さまざまな機能を備えています。このモデルは、最も要求の厳しい生産ニーズを満たすように設計されており、あらゆる半導体メーカーにとって強力なツールとなっています。