中古 CANON FPA 5000 ES3 #9200131 を販売中

CANON FPA 5000 ES3ウェハステッパーは、最新の高収率チップ製造の要求に応えるように設計された、最先端の完全自動光学リソグラフィ製造装置です。高度なイメージングオプティクス、高いNA照明、高度な制御システムを搭載し、ES3は最も複雑な回路を最大150mm （6インチ）の標準基板サイズにパターン化することができます。キヤノンFPA 5000ES3は、マルチフィールドイメージプロジェクションシステムを採用し、ウェハ全体を赤色ダイオードレーザー光源に迅速に露光します。画像は、内部ライブラリからプログラムして呼び出すことも、外部からインポートすることもできます。多次元ステッチアルゴリズムにより、シームレスなウェーハカバレッジが保証されます。最大5ミクロンの分解能で作業することで、ES3はレチクルからサブレチクルまでのさまざまなレベルの露出を容易にし、生産エンジニアに最高レベルの柔軟性を提供します。FPA-5000 ES3は、各ウェーハを正確に整列・配置することができ、複雑なラインや形状をウェーハのエッジに関連して任意の角度で正確に生成することができます。オンボードの6軸フリンジフィールドアライメントユニットでは、猫の目のアライメント、ステップアンドリピート、マスクパターンステッチなどのプロセスをすべて高精度で実行できます。このES3は、異なる材料でウェーハを露出することができ、ポジティブトーンレジスト、ネガティブトーンレジスト、ダイレクトULリソグラフィ、オンウェーハメトロロジー、ダイレクトイオン注入などの異なるフィルムフォーマットに対応できます。複数のウエハを同時に連続処理するために、2つのウエハステージが用意されています。FPA 5000 ES3の完全自動化された制御マシンは、診断メーター、監視システム、データストレージと出力用のメインフレーム・コンピュータ、およびオンライン障害診断機能を備えています。さらに、ネットワークI/Oツールにより、生産現場のどこからでもリモート操作とデータ収集が容易になります。これらの機能と機能は、CANON FPA 5000 ES 3が最大解像度5。0ミクロン、大きな5インチタンウィンドウ、完璧な光学系を提供できることを意味します。さらに、汎用性の高い制御アセット、ロボットオートメーション、露出フォーマットの範囲により、ES3は最高レベルのウェーハを迅速かつ正確に処理することができ、高歩留まりチップ製造に最適なソリューションです。