中古 CANON FPA 5000 ES3 #9200130 を販売中

CANON FPA 5000 ES3は、幅広い集積回路（IC）ウェハ生産要件に対応するために設計された最先端の半導体ウェーハステッパーです。このステッパーは300mmの基板サイズを備えており、ウェハ全体の出力を向上させるための高スループットを提供します。CANON FPA 5000ES3は、最大18mm x 18mmのスキャンフィールドサイズで、複雑で高密度な回路パターンの高解像度イメージングを実現します。これは、混合論理デバイスと高度なメモリ設計の製造に特に有益です。ステッパーの先進的な光学機器は、最長のカラム構成で1。35nmの最小線幅を実現し、5倍、10倍、20倍の光学カラム倍率範囲を誇っています。FPA-5000 ES3は高度なDepth-of-Focus （DOF）制御を備えており、½ミクロンのフォーカス深さは、洗練されたデュアルモンテカルロアルゴリズムによって実現されています。このステッパーは、最大の稼働時間と生産性のためにも設計されています。「フォローオン」照明とシャドウセンサーを備えた「ノータイム・ロスト」フェイルオーバー・システムを備えており、故障時に別の操作を行うことができます。ステッパーには、ウェーハの正確なアライメントと露光時間補正のための一連のビジョンセンサーと、露光プロセス中の潜在的な欠陥を検出するための追加のインライン検査ユニットが組み込まれています。キヤノンFPA-5000 ES3は、シリコン・オン・インシュレーター（SOI）、シリコン・オン・ガラス（SOG）、またはそれらの組み合わせなど、複数のウエハータイプを処理することができます。さらに、ステッパーには、露出ヘッドの高度な振動分離など、敏感なウェハを保護する機能があり、露出時の振動による故障を防ぎます。この機器は、簡単な保守性と迅速なメンテナンスを念頭に設計されています。すべてのコンポーネントに直接アクセスし、交換可能な部品を簡単に交換できるため、最大50％のメンテナンス時間を短縮できます。FPA 5000 ES3は、最も要求の厳しい高度なウェーハ生産要件のための最先端のウェーハステッパーです。FPA 5000 ES 3は、高度な光学機器、高度なDOF制御、複数のウエハタイプと保守機能を処理する能力を備え、IC生産設備に最適です。