中古 CANON FPA 5000 ES3 #9147053 を販売中

CANON FPA 5000 ES3は、集積回路の製造においてフォトリソグラフィープロセスに使用される先進的な半導体リソグラフィ装置であるウェハステッパーです。高精度マスクアライメントや露出ウェーハアライメントなど、さまざまなイメージング性能を提供します。CANON FPA 5000ES3は、ステッピングタイプの露出システムを使用して、ウェーハ上のチップパターンをイメージします。254nmレンズと0。52の数値開口、全反射照明機、フラットトップフィールドイルミネータを備えています。このツールは、0。35 μ m （2400ドット/インチ）の効果的な分解能が可能です。FPA-5000 ES3には、光学的にズームされた登録マークを検出できる大型の5メガピクセルセンサと、オートコリメータによる三眼アライメントアセットがあります。その画像歪み機能は、ウェーハの不正確さを最大限に補正します。また、自動焦点モデルを搭載しており、正確で一貫性のあるイメージングを容易にします。さらに、石英ガラス構造により、高精度のステップとリピート動作を保証し、ウェーハの自動センタリングをサポートします。CANON FPA-5000 ES3は、100mm、 125mm、 150mm、 200mm、 300mmなど、さまざまなウエハサイズを加工するように設計されています。P-MBE取得ソフトウェアを使用してプロセスを強化しています。P-MBEはウェハローディング、アンロード、露出、光学計測などのプロセスを制御し、歩留まりを最適化します。装置は、人員の安全を確保するために、複数のライトシールドカーテンなどの安全メカニズムで設計されています。また、制御ソフトウェアは、統合されたプロセス監視システムを使用して、任意のユニットの誤動作に要員に警告します。CANON FPA 5000 ES 3には、スループットを向上させ、再現可能な画像処理結果を実現する高度なソフトウェアが搭載されています。このマシンは、ユーザーがイメージングパラメータを微調整できるようにカスタマイズすることもできます。最後に、強力なプロセス管理機能を備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。FPA 5000 ES 3は、信頼性の高い性能と品質の出力を提供するため、高度なリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。