中古 CANON FPA 5000 ES3 #9123442 を販売中

CANON FPA 5000 ES3ウェーハステッパーは、小型で正確な電子部品を製造するために設計された高精度の光学リソグラフィ装置です。このステッピングモデルは、高度なスキャン照明システムを使用して、フォトマスク上のパターン、またはレチクルをウェハに光学的に転送します。このマシンは、焦点の長い作業深度と特徴サイズが0。50〜5ミクロンであるため、高密度集積回路（IC）、マイクロ電気機械システム（MEMS）、およびその他の高度な電子部品を作成するのに最適です。FPAプラットフォームは450mm x 450mmの広い作業領域を提供し、直径6インチまでの基板に対応できます。この高度なステッパーは、4。5ミクロン以上の均一性を向上させ、2000 mW/cm2の最大全場照度を備えています。また、10〜30 μ mの可変焦点空間を提供し、正確な焦点深度は± 1 μ m、スポット径は5 μ m以下です。また、フォトマスクの劣化を最小限に抑える高効率ディフューザーも搭載しています。CANON FPA 5000ES3 Wafer Stepperは、生産性の向上とサイクルタイムの短縮を実現し、大量生産環境での使用を想定して設計されています。このマシンは高速なR&D露出モードを備えており、ユーザーはデバイスのプロトタイプを迅速かつ簡単に開発することができます。また、最大6万個のウェハパターンと500個のレチクルを格納する膨大なオンボードメモリを備えています。このステッピングモデルは、高度な自動アライメントプロセスを使用して、一貫した正確なリソグラフィ結果を保証します。FPA-5000 ES3 Wafer Stepperは、低コスト生産と超高精度アプリケーションの両方のために設計されており、パフォーマンス、信頼性、およびコストのバランスを提供します。直感的なユーザーインターフェイスを備えた堅牢で信頼性の高いプラットフォームと、包括的なメンテナンスと安全機能を備えています。このステッピングモデルは、露出、検査、測定システムの完全な自動化をサポートし、精度と検証を強化します。さらに、レシピコンバータ、パラメータマネージャ、パラメトリックアラインメント、リトシミュレータなどのエンジニアリングツールを提供しています。