中古 CANON FPA 5000 ES3 #9114874 を販売中

CANON FPA 5000 ES3は、半導体集積回路の製造において精度と精度を提供するウェハステッピング装置です。スキャン/アラインオプティカルシステムを使用して設計されており、回路層全体に2つの垂直距離をスキャンして位置を正確に調整します。このユニットは、3。5ミクロンの精度で200mm以上のアクティブ領域を持つ改良されたレンズ設計を使用しています。また、3つの独立した光学系と照明システムを備えており、高解像度のイメージングとより大きなダイナミックレンジを可能にします。CANON FPA 5000ES3には、ロードインおよびロードアウト機能を備えた自動整列および迅速なウェーハ遷移を提供する高速ウェーハハンドラが含まれています。ウェーハ上の重複画像のモーター駆動露光はナノメートル分解能で行われ、より高い均一性と精度を保証します。このマシンは、10〜200mmの範囲のスキャン領域を持ち、最大200mmの基板を処理することができます。また、FPA-5000 ES3は、Z軸移動において+/-0.1µm （λ/10）の再現性を実現できるソフトウェア制御電動ステージを採用しています。この機能は、高精度と優れた画質のための光学アライメント技術によってさらに補完されます。このツールは、近赤外線レーザースキャンと白色光イメージングを組み合わせた特許取得済みのレーザー照明資産を誇り、高精度のオーバーレイ測定に優れたコントラストと解像度を提供します。また、8インチと12インチの両方の基板をサポートするユニークなウエハハンドリングモデルを備えています。FPA 5000 ES3は、オートアライメント、オートローディング、および自動測定機能などの高度なオートメーション機能も提供します。特許取得済みのレーザーアライメント装置により、各層の精度を向上させます。さらに、オプトメカニカル設計により、別個の顕微鏡を必要とせず、より高いスループットを実現します。FPA 5000ES3は、粒子のより良い制御のための多次元オートシフト、補助レンズ、および高圧ポンプなどのアップグレードとアクセサリーの範囲を提供しています。高度な診断機能により、ユーザーは問題を迅速に特定し、適切な是正措置を講じることができます。ソフトウェアは使いやすく、ウエハ素材や基板の取り扱いにおいて信頼性が高い。また、ウェーハ加工、微細加工、リソグラフィ用途にも使用できます。