中古 CANON FPA 5000 ES3 #9104392 を販売中

CANON FPA 5000 ES3は、精密で費用対効果の高いリソグラフィ用に設計された最先端のウェーハステッパーです。高度なエアベアリング技術を特長とし、ステッパー部品の高精度かつ正確な位置決めを可能にします。CANON FPA 5000ES3は工業用グレードの材料から構成されており、堅牢で信頼性が高く、長持ちします。ステッパーは200Wレーザー装置によって動力を与えられ、ウェーハのサイズおよび形の広い範囲を収容することを可能にします。これにより、平らな基板と不規則な基板の両方で正確なパターンを効率的に生成することができます。レーザーシステムは、0。2マイクロメートル未満の相対露光精度と0。3マイクロメートル未満の露光再現性を備えています。ステッパーはまた、高精度、不揮発性、非磁性レーザーエンコーダを利用しています。このエンコーダは、ステッパーが意図された正確なパターンを常に生成することを保証します。多軸ゲートユニットもあり、露出方向を素早く切り替えることができます。これにより、非常に複雑で複雑なパターンを簡単に生成することができます。FPA-5000 ES3また、複数のレーザー干渉計とリニアエンコーダを使用する業界をリードするアライメントマシンも備えています。これにより、ステッパーは1ミクロン以下の精度で効率的にウェーハを揃えることができます。これにより、ユーザーは自分のパターンやレイヤーが再現可能で正確であることを確信しています。さらに、このステッパーにはソース制御ツールも内蔵されており、レーザービームが常に最適な輝度範囲にあることを保証します。CANON FPA-5000 ES3はまた、ユーザーに包括的な検査ツールを提供します。肉眼では見えない汚染箇所を正確に検出することができます。これにより、深刻なコンプライアンス問題を引き起こす可能性のあるエラーのポイントソースを削除できます。さらに、ステッパーはまた、そうでなければ生産プロセスを遅くする可能性がある粒子の汚染を検出することができます。最後に、FPA 5000 ES 3には、そのカスタマイズを可能にする幅広いオプションとアクセサリーが付属しています。これにより、特殊なリソグラフィを必要とするあらゆるお客様に理想的な製品となります。その高度な機能、堅牢なデザイン、全体的なパフォーマンスにより、生産性を向上させ、コストを削減することができます。