中古 CANON FPA 5000 ES3 #293609498 を販売中

CANON FPA 5000 ES3は、微細加工に高精度フォトリソグラフィを活用したウェハステッパーです。それは特定の適用のためにカスタマイズすることができ、優秀な総所有コストの高い歩留まりおよびスループットを提供するモジュラー装置です。システムの主なコンポーネントは、ステッピングコア、メインステージ、レチクルステージ、露出ユニット、ドライヤー/コーターです。ステッピングコアは、マイクロステッピングプラットフォームとユーザーが画像を選択して表示できる液晶デバイス（LCD）マイクロディスプレイで構成されています。ステッピングコアには高解像度のエンコーダを搭載し、正確なウェーハアライメントを実現しています。メインステージには、ウェーハアライメントと位置決めのための2つの高解像度駆動軸があります。超高精度のエアベアリング構造を採用し、さらに精度を高めています。メインステージには、自動ローダーと環境チャンバーが内蔵されており、機械を環境の変動から保護します。レチクルステージには、レチクルをX、 Y、 Z方向にスムーズかつ正確に移動するための2つのリニアモータがあります。最適なレーザーアライメントを実現する高出力レーザーダイオードを搭載しています。レチクルホルダーは最適なたわみ安定性を目指して設計されており、レチクル効果を排除します。露光ツールには、高速照明用の等方性プラズマ源と、画質向上のための円形偏光照明アセットが装備されています。また、ウェーハアライメントとイメージングのための高度な制御システムとソフトウェアを備えています。CANON FPA 5000ES3には、直接圧力と真空を使用してウェーハにフォトレジストをコーティングするドライヤー/コータモデルも含まれています。乾燥機/コーター装置は温度制御され、均一なコーティングおよび乾燥を提供します。全体として、FPA-5000 ES3は高精度のウェーハステッパーであり、高い歩留まり、スループット、優れた総所有コストを提供します。モジュラー設計により、カスタマイズとアップグレードが容易になり、高度な制御システムとソフトウェアにより、正確なフォトリソグラフィーイメージングとレチクルのアライメントが可能になります。