中古 CANON FPA 5000 ES3 #293592110 を販売中

CANON FPA 5000 ES3は、大量生産のための優れた精度とスループットを提供するように設計された次世代ウェーハステッパーです。CANON FPA 5000ES3は、高度なスキャンパターンと精密モータ制御を使用して、露光面を越えた最も繊細なウェーハでも、バイアスや収差を最小限に抑えて素早く移動します。ステッパーは、より小さく、より複雑な転送マスクを露出するために重要な、高倍率と大きな露出フィールドを可能にします。FPA-5000 ES3には、ネストされた可変ブロックを利用してスループットを最大化し、精度を維持する高度な制御装置が組み込まれています。制御システムは、固定パターンと可変フィールド配置の両方でマクロ露出を提供し、ノイズを低減し、より高い歩留まりを生成します。CANON FPA-5000 ES3には、より大きなスキャンのための拡大光場があり、欠陥率を下げるのに役立ちます。ステッパーは、連続的なフォーカス精度を確保するために非PDFベースのアルゴリズムを使用して、一貫したオートフォーカス処理が可能です。FPA 5000ES3には、精密ステージに搭載された高性能オプティクスも含まれており、正確なアライメントと露出登録を実現するために、安定した再現性が高い。CANON FPA 5000 ES 3は、ライン幅0。25マイクロメートルまでの解像度を実現する高度なウェーハ露出ユニットです。ステッパーは4kライン・ピッチの露出機能を備えており、より速く、より正確な転送を可能にし、不要な光を拡散的に減らすのに役立つ拡張されたビューポートを備えています。FPA 5000 ES 3は、自動化されたアライメントと露出ギャップ調整を利用して、誤差を低減し、レチクル生存性を向上させます。FPA 5000 ES3は、高輝度光環境での露出に耐えることができ、正確な露光時間と強度制御が可能な高度なシャッターマシンを備えています。ステッパーには最先端の欠陥検査ツールが装備されており、露出したウェハから潜在的な欠陥を特定するのに役立ちます。CANON FPA 5000 ES3は、信頼性と長寿命性を確保するために、最高級の材料から構成され、機械のライフサイクルにわたって最適な性能を確保するためのろ過およびメンテナンス資産が含まれています。CANON FPA 5000ES3の精度と高度な機能により、大量かつ精密なウェーハ生産に不可欠なツールとなります。最適化された性能、優れたスループット、優れた欠陥検出機能により、FPA-5000 ES3は、廃棄物を最小限に抑えてデバイスごとに低レベルのサイクルタイムとコストを達成することを可能にし、高度で費用対効果の高いウェーハ処理ニーズに最適なソリューションを提供します。