中古 CANON FPA 5000 ES3 #293588073 を販売中

CANON FPA 5000 ES3は、5ミクロンの最新ウエハステッパーで、数々の高度な機能を搭載しています。生産環境向けに設計されており、効率的なマルチプロジェクトウェーハ処理に最適です。その先進的な光学機器は、高速かつ正確なアライメントと高いスループットレートでの測定を実現するために、高い反応性、低い歪み、回折性光学素子、高速ステージメカニズムを利用しています。CANON FPA 5000ES3には、高度なオートフォーカス・システムが装備されており、あらゆる光学条件でサンプルを均一にフォーカスし、正確な測定とアライメントを保証します。そのフルスキャンラインとパターンイメージの正確な配置は、高度なアプリケーションに必要な最高のプロセス再現性とパフォーマンスを提供します。FPA-5000 ES3は、完全なウェハマッピングだけでなく、線量、アライメント、フォーカスなどの重要なパラメータのローカライズされたウェハマッピングをサポートする高性能なウェハマッピングユニットを内蔵しています。この機能により、重要な構造の露出後の正確なアライメントが可能になり、誤ったフィーチャーによる潜在的な歩留まりの問題がなくなります。FPA 5000 ES 3には強力な画像アノテータも含まれており、ウェーハ上の重要な構造の迅速かつ正確な位置決めと測定を可能にします。この機能は計測に最適であり、フェイル解析プロセスを高速化するのに役立ちます。また、CANON FPA 5000 ES 3は、ウェーハ製造プロセス全体にわたって正確なウェーハ加工条件を確保するために不可欠な、自動環境モニタリングや精密な温度制御など、多くの環境制御機能を備えています。結論として、FPA 5000ES3は、あらゆる生産環境で最も要求の厳しい厳しい要件を満たすための機能と機能を備えた高度なウェーハステッパーです。その高度な光学マシンと画像アノテーション機能により、正確な測定、アライメント、マッピングが保証されます。さらに、包括的な環境制御機能により、ウェーハ製造プロセス全体にわたって正確で均一なプロセス条件が保証されます。