中古 CANON FPA 5000 ES2 #9273145 を販売中

CANON FPA 5000 ES2は、65 nmの機能サイズ解像度を持つ高解像度ウェーハステッパーです。240nmのマニホールドに発光するUV光源を使用した浸漬式ドライステッピング装置です。トランジスタ、コンデンサ、ダイオードなどの半導体部品を高精度かつ高速に微細加工できます。また、オーバーレイアライメントもサポートし、アライメント精度は± 1。2nm、ウェーハ位置決め精度は± 1。2nmです。マスクアライメントマシン（MAS）、視野564mmの4K CCDカメラ、精密ステージを内蔵しています。MASは、最大サイズ519。2mm x 529。2mmの高解像度パターニング用の没入型光学レイアウトを備えています。イメージング性能を最適化し、大量生産に優れた安定性を提供します。4K CCDカメラは、優れた画像精度と高いマスクコントラストを達成するために拡張ダイナミックレンジを提供します。4K CCDカメラは非常に低いノイズ特性を持ち、保存する必要のあるデータ量を減らし、優れた解像度を提供します。Precision Stageは、微細なアライメントと精密な微細加工作業のための高速で正確で信頼性の高いエンジニアリングプラットフォームを提供します。超精密パターニングのための最大解像度5nmを提供します。FPA 5000 ES2は、再現性を確保し、高スループットを実現するために、Smart Exposure Control （SEC）を搭載しています。また、調整可能なレイアウト最適化係数を備えており、マスクパターニングの欠陥またはエラーを検出する機能を強化します。このツールはメンテナンスが簡単で、最適な露出設定の処理を自動化する自動検出アセットが内蔵されています。複数のユーザーが同時に操作でき、各ユーザーは設定をカスタマイズできます。機械はまたテストおよび生産の印刷物の自動トリムそして修理を提供します。フルカラービューモードとリアルタイムオーバーレイモードを備え、レチクルパターンや小型デバイスコンポーネントを正確に評価できます。安全性の向上、最大限のユーザビリティ、および最先端の生産上の課題に対応する能力のために、さまざまなハードウェアとソフトウェアのアップデートも利用できます。