中古 CANON FPA 5000 ES2+ #9200129 を販売中

CANON FPA 5000 ES2+ウェハステッパーは、先進的な半導体デバイス製造用に設計された最先端のリソグラフィーソリューションです。これは、ウェーハステッパーのES2シリーズの最新の進化であり、改善されたイメージング性能と高い生産性を提供します。CANON FPA-5000 ES2+は、試験中心の機器として、ユーザーがデバイス製造目標を達成するのに役立つ印象的な機能を備えています。FPA 5000 ES2+のスキャンステージは、システムの中心であり、非常に低い角加速と速度リップルで滑らかな動きを保証する超精密スキャン軸サーボドライブを備えています。これにより、オーバーレイ測定において優れたオーバーレイ性能と長期安定性を提供します。また、最大17インチ正方形までの広い視野（FOV）機能を備えています。毎秒850ミクロンの高速スキャンにより、高速スループットを実現します。FPA-5000 ES2+の光学系は、高性能と安定性を兼ね備えるように設計されています。0。8 µmの大きな焦点深度（DOF）と50mmに達する高度な数値開口度（NA）を提供します。また、0。5°傾斜角で0。2％の長期安定性（LTS）と50mW/cm2の優れた露出均一性を備えています。キヤノンFPA 5000 ES2+には、環境条件に左右されることなく優れた光学性能と安定性を提供する高度な重水素およびキセノンイルミネーションソースが装備されています。また、TOPSENCHECK AXISツールを自動化し、デバイス製造時に正確なサンプルアライメントを提供します。CANON FPA-5000 ES2+は、優れたパフォーマンスに加えて、優れたアセットメンテナンスとドキュメント機能も提供します。SmartScope APIを使用すると、顕微鏡コンポーネントの表示、監視、制御が可能になります。また、統合されたScanning Electron Microscopy （SEM）ソフトウェアパッケージにより、プロセス分析のための断面データの表示と観察が容易になります。全体として、FPA 5000 ES2+は、高度な半導体デバイス製造のためのイメージング、パフォーマンス、メンテナンス機能の改善されたスイートで設計された高度なウェハステッパーです。最先端の技術により、FPA-5000 ES2+は、高解像度イメージング、長期安定性、高スループットのための最も信頼性の高いウェーハステッパーの1つです。