中古 CANON FPA 5000 ES2 #9200128 を販売中

CANON FPA 5000 ES2ウエハステッパーは、高度なイメージング装置です。高解像度、高精度のパターンを単一のウエハに転送するように設計されています。ステッパーは光源、投影レンズシステム、フィールドレンズユニット、パターンジェネレータの4つのコンポーネントで構成されています。光源には、高性能ランプ、拡大されたスリットとピクセル、およびソースコンデンサがあります。プロジェクションレンズマシンは、異形ツールに配置された複数のレンズを使用して、信頼性の高い投影画像を提供します。フィールドレンズのアセットは、2つのモーター付きチルト回転往復レンジ（TRRR）ステージで構成されています。このステージは、ウェーハ表面の円筒状の歪みを補正し、ウェーハ全体に正確なパターン配置を提供します。TTLIパターンジェネレータは、投影レンズモデルに送信されるバイナリパターンを生成します。最大解像度は0。34 µm、パターンサイズは最大22mm x 22mmです。また、ウェハステッパーと相まって、フィールドアライメントや登録システム、低振動環境システム、自動遠隔操作など、さまざまなアクセサリを提供しています。FPA 5000 ES2は、市場で入手可能な最高レベルの精度と精度を提供します。LED、半導体、半導体インターコネクトの製造など、さまざまな用途で使用されています。それは研究および生産の実験室のための理想的な選択です。