中古 CANON FPA 5000 ES2+ #9182356 を販売中
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CANON FPA 5000 ES2+は、高いスループット、高精度、低コストの所有コストを実現する次世代ウェーハステッパーです。先進的な光学素子、レンズ素子、光学素子を備えた大口径大型光学装置を採用し、最先端のアライメントと露出精度を実現しています。ES2+は高度なアライメントシステムを使用してバッチの精度と再現性を確保し、新しい画像およびマスクデータ処理機能はウェーハの生産の優れた柔軟性と速度を提供します。さらに、ES2+は、最大850mmのフレームを扱うことができるオンボードロボティクスを備え、さまざまな基板を提供しています。CANON FPA-5000 ES2+は、マニュアルフォーカス調整の必要性を排除し、オペレータ誤差の可能性を排除しながら、最も正確なリソグラフィ焦点を維持するために設計された優れたダイナミックFocus™技術を特長としています。さらに、ES2+は高度なダイダイ慣性アライメントと露出設定の優れたインサイト最適化を備えており、複雑な設計のより効率的なパターニングを可能にします。オンボードデータ処理と品質管理プロセスにより、ユニットから出てくる画像に欠陥がなく、仕様に正確に準拠しています。ES2+はかなり直感的なユーザーインターフェイスを備えており、さまざまなモードで露出設定やその他のパラメータを微調整できます。具体的には、このマシンはユーザーがグローバル、ローカル、またはダイベースの設定に微調整を行うことができます。また、他のほとんどのウェーハステッパーでは使用できない、特定の金型のリソグラフィーパラメータを設定することもできます。さらに、FPA 5000 ES2+には、スループットと精度を向上させる他の多くの機能があります。このツールは、カスタマイズ可能なロード/アンロードおよび置換プロセス設定を提供し、生産スループットと柔軟性を向上させます。さらに、このアセットは、40nmのパターンアライメント精度で、より細かい解像度の拡張ビットをサポートしています。最後に、ES2+は、さまざまなCAD/CAM/CAEシステムとの互換性を確保するために、光学、磁気、電気などの複数のデータフォーマットと互換性があります。要するに、FPA-5000 ES2+は多様な基材やパターンに最適な性能と精度を提供するように設計された汎用性の高い高スループットウェーハステッパーです。高度なアライメント、露出、データ処理機能により、ES2+はコスト効率の高いパッケージで高精度を必要とする生産プロセスに最適なモデルとなります。
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