中古 CANON FPA 5000 ES2 #293817781 を販売中

CANON FPA 5000 ES2は、世界最高の精度と解像度を誇る超高精度ウェーハステッパーです。半導体デバイスのサブミクロンパターンを最先端の形状や設計でキャプチャすることができます。FPA 5000 ES2には、CANON独自の超高解像度フォトマッピング装置（UHRM）が搭載されており、0。1ミクロン（30nm）のオーバーレイ精度で0。25um （90nm）の精密な画像処理が可能です。高度の光学設計および高度の高いさざ波レンズのコーティングは収差を減らし、効果的に色およびlrfocusのゆがみを訂正します。高出力LED照明システムは、最適化されたウェーハレンズとフレームと緊密に統合されており、正確な露光時間、再現性、最適なイメージング結果を保証します。CANON FPA 5000 ES2で使用される高精度で信頼性の高いリニアモータは、ウェーハステージの極めて正確で反復可能な微動と時間の露出を可能にします。モータ駆動ウェハステージは0。02ミクロンの精度に合わせて調整され、経時変化にかかわらず精度と性能を自動的に確保します。FPA 5000 ES2には、デバイスのパターンの特性を認識し、それらに合わせて露出を最適化するキヤノン独自の自己学習制御ユニットも組み込まれています。この革新的な機械は優秀なイメージの均等性および優秀なイメージの質を可能にします。ウェハステッパーは、半導体デバイスの生産を調整するための高度なオートメーションツールも備えています。ソフトウェアは、現在の工場システムと統合することができ、生産環境の特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。全体として、CANON FPA 5000 ES2は、最も複雑な半導体デバイスやコンポーネントを製造するための理想的なツールです。高度なイメージング機能、精密リニアモータ、モーションコントロール、自動生産システムにより、要求の厳しいシナリオで最適なパフォーマンスを実現します。