中古 CANON FPA 5000 ES #9200127 を販売中

CANON FPA 5000 ESは、製造メーカーが半導体デバイスを正確かつ効率的に製造できるように設計された最先端のリソグラフィックウェハステッパーです。5マイクロメートルの解像度を持ち、幅0。25ミクロンまでの高解像度ライン/スペース機能を実現します。これにより、大量かつ高度な半導体デバイスの製造に適しています。FPA 5000 ESの外形寸法は2710 x 1750 x 1625 mmで、標準フィールドサイズは50。8 x 50。8 mmです。ステッパーの電源は業界標準のAC100/AC200電圧範囲で、オプションのDC/AC300電源のアップグレードが可能です。CANON FPA 5000 ESは、0°、90°、277°の3レンズ設計により、50。8mmの全領域をカバーします。4。0xの光学減磁はステッパーに焦点の最も大きい深さおよび高いイメージの高さの正確さを与えます。FPA 5000 ESは3段階のテレセントリック照明装置を使用しており、フレアなしでリソグラフィ機能を正確に配置できます。照明は完全な分野区域の強度そして均質性の点で調節可能、最適化された石版画パターンの生産を促進します。CANON FPA 5000 ESは、マルチプロジェクションイメージングシステムにより、複数のフィールドサイズを同時に露出することができます。また、リソグラフィの仕事に応じて、異なるサイズのフィールドを異なる時間に公開することも可能です。標準的な機能に加えて、FPA 5000 ESには、メガネのリソグラフィ用のオプションのFPDモジュール（フラットパネルディスプレイ）もあります。フラットパターン露光を高精度に実現し、小型でシャープな構造を持つ半導体デバイスの製造を可能にします。CANON FPA 5000 ESは、複数のリソグラフィーシステムとの優れた解像度と互換性で際立った強力なウェーハステッパーです。省エネオペレーションモード、高度な照明ユニット、マルチプロジェクションイメージングマシンにより、大量の高品質の半導体デバイスを製造するための優れたツールとなっています。