中古 CANON FPA 5000 AS2 #136492 を販売中

CANON FPA 5000 AS2は、半導体製造で使用されるウェーハステッパー（露出ツールとも呼ばれる）です。CANON e-Beamテクノロジーファミリーの一部であり、マイクロチップ業界のリソグラフィーツールのリーダーです。FPA 5000 AS2は最先端のツールであり、生産性と優れた画質でプロトタイプと生産ウエハニーズの両方に対応できます。CANON FPA 5000 AS2の露出機能は、ステップおよびリピートおよび連続ウェーハステッパプロセス用に設計されています。その露出技術には、スキャン電子ビーム（SEB）とフライングスポット露光法の両方があります。フライングスポット露光法は、静電気ビームとレンズ装置からの移動投影を使用しており、高いスループットと高精度を提供します。FPA 5000 AS2の露光システムには、アライメント精度を確保しつつ、処理時間を大幅に短縮するオートアライメントユニットが装備されています。オートアライメントマシンは、自動アライメントマーク検出ツールを使用して、ウェーハのずれや歪んだウェーハによって引き起こされる可能性のあるパターンのずれを防止します。CANON FPA 5000 AS2のビーム位置制御アセットは、自動パターントラッキングモデルにより柔軟性を提供します。この装置はパターンを追跡し、外部フィードバック信号を使用して修正することができます。さらに、FPA 5000 AS2のビーム監視および制御システムは、製造プロセス全体で所定のビームパラメータを維持することができます。CANON FPA 5000 AS2の大型スキャンサイズと高解像度イメージング機能により、幅広いウェーハ加工に適した画像を実現します。また、高解像度のイメージングにより、優れたコントラストとシャープさが保証されます。FPA 5000 AS2の低エネルギーウェハマテリアルの脆弱性は、このツールの低エネルギーSEBシステムと低SEBチャンバ電圧によって最小限に抑えられます。SEBチャンバ電圧が低いため、基板の熱誘導ストレスが最小限に抑えられ、デバイスの仕様と歩留まりが維持されます。FPA-5000には、レシピアーカイブユニットが含まれており、お客様はセットアップのレシピにアクセスして保存することができます。この機能により、顧客はニーズに合わせてレシピファイルをカスタマイズできます。CANON FPA 5000 AS2は、O2の代わりにpseudo-O2を使用することもできます。Pseudo-O2により、中間工程の排除による総処理時間を短縮します。さらに、FPA 5000 AS2には、マルチレベルのレチクル交換機能が含まれています。これにより、レチクルの同時荷重とアンロードによるサイクルタイムが短縮されます。全体として、CANON FPA 5000 AS2ウェハステッパーは、プロトタイプと生産ウェハニーズの両方に対応する最先端のツールです。優れた画像忠実性、低エネルギーのウェーハ素材の脆弱性、生産性の向上、アライメント精度の向上を実現します。