中古 CANON FPA 3000 #9384377 を販売中

CANON FPA 3000は、高度なリソグラフィープロセス用に設計された高性能ウエハステッパーです。この機械は顕微鏡で小さい破片を、また光学フィルムおよびフォトマスクの生産のために製造するために半導体産業で広く利用されています。直径450mmまでのウェーハに対応可能で、露出面積は最大375mmです。キヤノンFPA-3000は、独自の結晶ミラーシステムと光学車を使用した先進的なイメージング装置を搭載しています。これにより、画像処理が正確かつ正確であることが保証されます。また、高精度モーターを使用してフォーカシングレンズとミラーを動かし、さらに精度を高めます。このマシンは、さまざまなプロセスを実行することができます。エッチング、フォトレジストコーティング、イメージング、視力検査などがあります。多露光リソグラフィープロセスも可能です。また、複数種類のパターンイメージを認識し、サブミクロンとナノイメージングが可能です。このユニットは、独自のソフトウェアプログラムを使用して、各プロセスに関連する露出、アライメント、分析、および報告ジョブを制御します。ソフトウェアは、機器のパラメータにアクセスするために使用することができます、すべてのプロセスの正確な制御を可能にします。さらに、このソフトウェアは、クリーニング、校正、予防メンテナンスなどのメンテナンス作業に使用できます。FPA 3000は、安全性と環境保護も向上しています。消火装置、緊急停止装置、高圧試験装置などの安全機能を内蔵し、人員や設備の安全を確保することができます。また、有害物質の排出を削減するために温度制御されたドライエッチング資産を備えています。全体として、FPA-3000は最適な性能のために設計された高度なウェーハステッパーであり、リソグラフィープロセスのために半導体業界で使用されています。これは、高精度と安全性だけでなく、さまざまなプロセスのオプションを提供しています。これにより、微細な電子部品の製造に最適です。