中古 CANON FPA 3000 #9145281 を販売中

キヤノンFPA 3000は、幅広い生産ニーズに対応できる高性能・多機能ウェーハステッパーです。この装置は、高い精度と精度を維持しながら、スループットを向上させ、製造コストを削減するように設計されています。CANON FPA-3000は、メインコンポーネントを1つのフレームに組み立てたモジュラー設計を特徴としています。高度なレンズシステムと4段回折型ヘッドアセンブリを採用し、優れた光学性能を発揮します。このユニットは格子ベースのパターニングが可能であり、さらに解像度と精度を向上させるために軸外照明を提供することもできます。これにより、理論的に無制限の機能を柔軟な基板にパターン化することができます。ステッパーは、125mmから650mmまで、さまざまなウエハサイズに対応できます。最高精度は0。1ミクロンで、1時間あたり最大65本のウェーハを搭載しています。ステッパーは、14ミクロンのステップ/繰り返し精度で精密なリソグラフィも可能です。これは、信頼できる3ミクロンの解像度と1。9 mm x 1。9 mmのアクティブ領域を備えた統合アライメントマシンによってサポートされています。FPA 3000には、ロータリーステージ、プログラマブルレチクルスライド、CCDベースのアライメントツールなど、ハイエンドの機能を完全に補完する機能が搭載されています。FPA-3000は、高い信頼性と堅牢性を備えています。それに長い生命LEDの光源、高度の空気洗い流すことおよびダウンタイムを減らし、主要な部品の耐用年数を拡張するように設計されている他の特徴があります。また、クリーンルーム対応のエンクロージャを中心に設計されており、潜在的な汚染物質から内部コンポーネントを保護し、最適なパフォーマンスを保証します。統合されたコントローラは、CANON FPA 3000の正確な動作をサポートし、高速で簡単な操作のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを提供します。コントローラはまた、ロギングと診断機能を提供し、遠隔操作が可能です。要するに、CANON FPA-3000は、幅広い生産需要に対応するために設計された強力で信頼性の高いウェーハステッパーです。高度なレンズ資産、高精度、堅牢な構造により、精密なリソグラフィと生産性の向上に最適です。