中古 CANON FPA 3000 #9145280 を販売中

CANON FPA 3000は、半導体製造のための高精度パターンを作成するために設計された高度なウェーハステッパーです。高いスループット、精度のアライメント、強力なイメージング技術により、CANON FPA-3000はあらゆる半導体の製造に最適なツールです。FPA 3000は、ABA （Automated Beam Alignment）技術により、卓越したオーバーヘッドビュー光学イメージングを提供します。この機器は独自のソフトウェアアルゴリズムを使用してスキャナを誘導し、スループットの向上とマスクの正確な配置を実現します。また、ABAはフルフィールドオートマチックフォーカスシステム（AF）を介して自動焦点を提供します。このユニットは、焦点平面の変動を最小限に抑え、焦点シフトを大幅に低減し、高度な半導体デバイスの画質を低下させることができます。FPA-3000には自動校正機（ACS）も備えています。ACSは3次元ナノプロビングセンサーを使用して、位置やコントラストなどのイメージングパラメータを正確に制御します。これにより、高均一な露出が可能になり、複数のレイヤーにわたって画質を維持できます。さらに、レンズ収差に起因する高周波アライメントエラーや、ハイコントラスト画像ニーズのあるレイヤーに合わせた動的周波数変化を補正することができます。CANON FPA 3000は、高解像度カラー補正スーパーハイコントラストマスク（CHCM）機能も備えています。CHCMは、特殊なマスク技術を活用し、高度な半導体構造においても、ライン先端の粗さを大幅に低減し、高精度なイメージングを維持します。また、CANON FPA-3000には光密度制御メカニズム（ODCM）が搭載されており、エッチングする材料に基づいて光源の強度を調整することができます。均一なパターン深度を実現し、高収率・高性能画像に貢献します。最後に、FPA 3000には、ユーザーがその機能を最大限に活用できるようにするための詳細なオンラインテクニカルサポートが付属しています。直感的なユーザーインターフェイスにより、多くの機能に簡単にアクセスでき、マシンのセットアップと実行のプロセスを簡素化できます。全体的に、FPA-3000は高速かつ簡単に細かく正確なリソグラフィーのパターンを作成することができる強力なウェーハステッパーです。高度なイメージング機能とオートフォーカス機能により、高度な半導体製造において高度なイメージング性能を要求されるお客様に最適です。