中古 CANON FPA 3000 #9145279 を販売中

CANON FPA 3000は、シリコンウェーハの超精密リソグラフィ用に設計されたキヤノンのウェハステッパー装置です。非常に正確な照明装置、高度なアライメントと正確な攪拌システム、独自のソフトウェアユニットを備えています。この高度なウェーハステッパーは、最小限のフットプリントと最小限のコストで最高品質のウェーハを生産することができます。キヤノンFPA-3000は、最適化された6軸X/Y/Z/ θ/z/Fアーキテクチャマシンを搭載し、変位分解能0。1 µmで非常に正確な結果を生成します。ステッパーはまた、独自の防振ツールを備えており、非常に高い精度を保証します。これにより、所有コストを削減してパフォーマンスを向上させることができます。FPA 3000は、光学資産の面では、高度なタイプのレーザー、光学レプリカ発電機、およびユニークな代替レチクルを備えています。この特徴の組合せはthestepperがマスクを基質に正確に合わせることができることを保障します。さらに、ゲンロックモデルは、大きな粒子、薄い基板、およびその他の複雑な表面上で動作する場合でも、非常に正確な光学的結果を提供します。精密攪拌装置の面では、FPA-3000は、結果のウェーハが常に完璧に整合されることを保証するために、電子と音響攪拌を組み合わせたハイブリッドシステムを備えています。ステッパーには、高速で正確なアライメントを提供するために使用される特別な高性能アライメントツールもあります。CANON FPA 3000には、デバイスができるだけ効率的であることを保証する特別なソフトウェアユニットもあります。ウェーハサイズとレイアウトパターンの最も効率的な組み合わせを認識するように設計されています。その結果、セットアップのコストを削減し、サイクルタイムを短縮し、ダウンタイムを削減することができます。CANON FPA-3000は、優れた結果を出すことができる真に高度なウェーハステッパーです。これは信頼性が高く、効率的であり、正確で信頼性の高いものであることを保証するために厳格にテストされています。最小限のコストで最高品質のウェーハを製造するための理想的なツールです。