中古 CANON FPA 3000 #293828112 を販売中

CANON FPA 3000は、高度なIC検査とリソグラフィ用に設計されたウェハステッパーです。それはスループットを改善し、正確さを高め、そして振動を減らすように設計されている二重段階、高精度の電動レチクルステージが装備されています。CANON FPA-3000の高性能光学装置は、coma、 field curvature、色収差、歪みなどの収差を補正する6レンズ設計により、イメージング性能と印刷精度を向上させました。ウェーハステッパーは、内蔵の自動化されたアライナーを使用して、ダイフィーチャーを検出し、ウェーハを整列させます。アライナーは、1/4ミクロンの解像度で特徴を検出することができ、自動整列機能を使用してウェーハを最大50nmの精度で整列させることができます。さらに、ウエハステッパーは、ウエハサーフェスを正確にトレースするためのオーバーレイシステムを内蔵しています。FPA 3000は、ウェーハのサイズに応じて、1ショットにつき最大6つのターゲットを印刷することができます。印刷解像度は10nmと非常に優れており、ステッパーには一貫した露光強度を維持し、最適なアライメント性能を確保するために設計された波長調整可能なレーザダイオードが装備されています。振動を低減するために、FPA-3000には減衰振動テーブルと一体型アイソレーションユニットが装備されています。テーブルは最大0。2Hzで振動を減衰させるように設計されていますが、絶縁機は機器レベルの振動を最大90％低減します。また、ウエハステッパーは特許取得済みの超低F値3対物レンズを採用しており、内部レンズ反射による収差を最小限に抑えることで精度を向上させています。CANON FPA 3000は、深紫外線（DUV）から可視光（VIS）まで、さまざまな露光波長で印刷できます。精密な露出測定と制御のためのレーザーパワーメータを内蔵しています。ウェーハステッパーには、臨界寸法（CD）測定、欠陥レビュー、パターン解析、およびポストリソグラフィ画像解析アルゴリズムのライブラリなど、いくつかの組み込み検査アプリケーションも含まれています。全体的に、CANON FPA-3000ウェーハステッパーは、高度なIC検査やリソグラフィに使用できる強力なリソグラフィ装置です。その高度な機能には、デュアルステージ、高精度の電動レチクルステージ、最適化された印刷精度の自動アライメント、波長調整可能なレーザダイオード、およびいくつかの組み込み検査アプリケーションが含まれます。FPA 3000は正確な印刷結果を達成するように設計されており、内蔵のレーザーパワーメータは正確な露出制御を保証します。