中古 CANON FPA 3000 MR #293817802 を販売中

CANON FPA 3000 MRは、FABシリーズの一環として、先進半導体アプリケーション向けにキヤノンが開発した洗練されたウェーハステッパーです。ウェーハステッパーは、より小さな機能、より迅速なスループット、およびより高い精度の要件を含む高度なフォトリソグラフィの課題を満たすように特別に設計されています。FPA 3000 MRは、0。40マイクロメートルのアライメント精度と最大0。5マイクロメートルの焦点深度を有する、同時に複数のウェーハ上の解離層を露出することができます。また、キヤノンFPA 3000 MRは、キヤノン独自のマルチフォーカス駆動機構を採用しており、極端な温度変動が発生した場合でも素早く細かい露出を実現します。これにより、優れたコントラストを確保し、幅広い露出形状とサイズを可能にします。ウェーハステッパーは、高いスループットを実現するための強化されたフォーカス制御装置を備えており、空間ノイズおよび時間ノイズ分析を使用して、露出シーケンスの過程でフォーカスを最適化します。FPA 3000 MRはまた、高分解能でより小さな正規化のオーバーラップを可能にするHigh NA （Numerical Aperture）システムと、密なパターンを露出するためのバックスキャッターフリーおよびマルチスタックユニットの2種類の高度な光学システムを提供しています。CANON FPA 3000 MRは75nmまでの解像度を持ち、収容可能なウエハサイズは175mm （8インチ）です。このステッパーは、キヤノンの有名な精密制御技術と比類のないプロセスセンシング精度の恩恵も受けています。それは環境保護を提供し、またさまざまな材料、形、およびサイズ、またさまざまな化学プロセスと使用することができます、それは産業の広い範囲のために理想的にします。さらに、FPA 3000 MRにはトレーサビリティのための統合マシンがあり、QAレビューやプロセス分析に貴重なデータを提供します。キヤノン独自の高度なウエハハンドリング技術と高速かつ正確なアライメントツールにより、高いスループット、堅牢なプロセス制御、トータルトレーサビリティを実現します。全体的に、CANON FPA 3000 MRは、高精度、高速スループット、極端な温度変動、高コントラストイメージングを必要とする業界に最適な、キヤノンの高度で汎用性の高い精密なウェーハステッパーです。