中古 CANON FPA 3000 iW #9311331 を販売中
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CANON FPA 3000 iWは、高精度な露出とフォトマスク製造に使用されるウェハステッパーです。レーザースキャンのレーザダイオード装置を使用して、薄いウェーハ上に高解像度の画像を作成する、マイクロリソグラフィーのための高度なツールです。CANON FPA 3000IWは、半導体デバイスやその他の先進デバイスの作成に最適です。FPA-3000IWは、高精度で信頼性の高い露光システムを備えた高度なマイクロマシニングのための包括的な機能を提供します。ステッパーは、最小限の歪みで高解像度の画像を作成するのに役立つ高度なレーザダイオード、レーザースキャンユニットを内蔵しています。このレーザースキャン機は、マスクのデザインの多種多様な小型、2次元機能をスキャンすることができます。このデバイスは高精度のオーバーレイ登録が可能で、ユーザーは薄いウェーハにパターンを正確に登録することができます。FPA 3000IWは、高度なIris Auto Exposure (IAE)およびDRI (Dual Resolution Imaging)技術により、高度に最適化されたイメージングを生成します。IAE技術により、ユーザーは非常に細かいパターンの露光時間を正確に予測することができますが、DRI技術は、異なる設計に特化した露光時間を最適化することで、より高い歩留まりを可能にします。FPA-3000 IWには、画像品質のカスタマイズを容易にするために、接触、近接、およびスキャンフォトリソグラフィーシステムが装備されています。また、高速ステッパー操作にも対応しており、チップやウェハの生産において高いスループットを実現します。さらに、このデバイスはカスタム設計されたObjective Vision Toolを備えており、パターンチェックと欠陥検出を簡単に行うことができます。CANON FPA 3000 I Wは、パルス補正アセット(PCS)、アジャスタブルタイマーベース露光(ATBE)、コントラスト調整モデル(CAS)など、さまざまな性能向上機能も備えています。PCSは、複数の露出パターンで高精細な画像の露出をさらに洗練するのに役立ちます。さらに、ATBEは露光時間を制御することができ、CAS装置は画像品質を調整することができます。CANON FPA-3000IWは、高度なウエハ生産、回路生産、その他のマイクロマシニングアプリケーションなど、さまざまな用途に使用できる汎用性の高いツールです。CANON FPA-3000 IWは、高性能かつ高精度な露光システムと高度な機能を備えており、正確で信頼性の高いウェーハ処理に最適です。
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