中古 CANON FPA 3000 iW #9151772 を販売中

CANON FPA 3000 iWは、優れた性能と信頼性を備えた最先端のウェーハステッパーです。このウェハステッパーは、リソグラフィープロセスを含む半導体デバイスの製造に使用され、高精度と精度のために設計されています。100nmの解像度を実現し、0.33NA照明装置を備えています。CANON FPA 3000IWウェーハステッパーは、生産対応のリソグラフィープロセスを提供するために設計された先進的なデバイスです。このデバイスは、1回の露出と2回の露出の両方のプロセス、ならびにステップアンドリピートおよびクラスタツールを実行することができます。100nmの超短露光スポット径を備えています。この非常にコンパクトなシステムは、スペース使用率を最適化するために独自に設計されています。FPA-3000IWは、3軸同期と高速セトリング時間を提供するステージデザインも備えています。これにより、各ダイの正確かつ正確なアライメントが可能になります。また、変化する条件下でもプロセスの安定性を確保するように設計された最適化されたステージチラーユニットを備えています。また、リソグラフィ分野の高精度アラインメントを確保するために、アクティブなアライメントマシンを内蔵しています。内蔵のFPA画像投影光学は、回折限界レンズのTの範囲にわたって明確な画像世代を提供するように設計されています。また、位置パターン登録も提供します。同様に、高度な照明ツールは、露光領域上の正確な等しい照明を実行するように設計されています。キヤノンFPA-3000 IWは、高い信頼性と稼働時間を備えた堅牢な設計です。これは、不具合やその他のエラーの検出と修正のためのソフトウェアベースの資産を提供しています。また、異なるオペレーティングシステムとの柔軟な統合と高速データ転送を可能にする設計を特徴としています。結論として、FPA 3000 I Wウェハステッパーは、半導体デバイスの製造のために設計された先進的なデバイスです。0.33NA照明モデルと100nmの超短露光スポット径により、高精度・高精度を実現します。最適化されたステージチラー装置とアクティブアライメントシステムを備えています。また、このデバイスは堅牢な設計で信頼性が高く、リソグラフィープロセスを実行するための効率的なユニットを提供します。