中古 CANON FPA 3000 iW #293606922 を販売中

CANON FPA 3000 iWは、フォトマスク製造および検査用に特別に設計された最先端のウェハステッパーです。光学機器全体のスキャン動作を制御するWaferStepper™、ロボットアームを装備しています。CANON FPA 3000IWは、窒素充填のLCCI （Low Cross Coherence Interferometry）技術をはじめとする先進的な光学系を活用し、優れたイメージング性能とサンプル間の均一性を実現しています。この干渉計システムは、サンプルに安定した背景、正確な焦点、最適な照明を提供します。アルゴンイオンレーザーとハロゲンランプの2つの光源と、画像回転機を備えた10x顕微鏡と自動ズームレンズを含む光学パッケージを備えています。FPA-3000IWはまた、インテリジェントなイメージングと測定ソフトウェアを備えており、反復可能な結果、プロセス検証のための自動ドキュメント生成、光学マスク上の微生物の迅速かつリアルタイムの評価を可能にします。これは、CAD設計への直接接続とマスクレイアウトエディタへの出力を提供する統合された通信インターフェイスによって補完されます。CANON FPA 3000 I Wは、電子ビームダイレクトライトマスク、電子ビームリソグラフィマスク、薄膜STLマスクの超小型機能を迅速かつ正確に測定することができ、標準的なマスクレイアウトの大部分と互換性があります。統合されたフィルターホイールとオートフォーカス機能により、高度なマスク機能のための堅牢で信頼性の高いイメージングプラットフォームとなります。CANON FPA-3000 IWは、高いスループットとサブミクロン分解能と欠陥の検出能力を兼ね備えた、生産環境に最適なワークホースです。CANON FPA-3000IWは、高速なイメージングと加工時間と使いやすいオートメーション機能を備え、マスク製造や半導体製造の用途に最適です。