中古 CANON FPA 3000 iW #155018 を販売中
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販売された
ID: 155018
Wafer stepper
Configuration:
Main Unit: FPA-3000
Illuminator: FPA-3000 I line
(2) A Scope (left and right): i-line, TTL
Reticle Stage: 6", Canon STD
(2) Reticle Sender (switching): Canon STD
U-Lens
B Scope: OFF-Axis
C Scope: OFF-Axis
Laser Head: Zygo, HeNe
CCD OPTF
OA Scope: OFF-Axis
Wafer Stage: Flat Stage
(3) Θ/Z-Tilt Unit (L, M, R): Piezo
(4) Support Mount: Passive Damper
Filter (XY Stage): HEPA
Reticle Changer
Reticle Robot: Type IV
Cassette Robot: Type IV
(14) Cassette Library: Canon STD
(4) Intermediate Library: Canon STD
PPC
Wafer Feeder: Type-VI-R
SCH: Type-VI
PA Unit: 8", Notch
SH: Type-VI-R
Lamp house, 2KW
EWS HP-9000 (712/100)
UPS
CD-80 chamber
(5) HEPA ceiling filter (air)
Power receive box, 3 phase, 200VAC
D-rack: Canon STD
Currently in a warehouse
Can be inspected.
CANON FPA 3000 iWは、半導体製造用に設計された自動ウェーハステッパーです。ユニークな設計により、生産ライン上で個々のウェーハを正確に揃えることができ、ウェーハ処理における最適な歩留まりと精度を保証します。CANON FPA 3000IWは、サーボモーターシステムを採用した独自の搬送装置を搭載し、ウェーハの正確な位置決めと調整を実現しています。この単位は生産ラインを通してカスタマイズされた道を作成するのに使用することができます良質の生産を可能にします。このユニットは、1サイクルにつき最大24個のウェーハが可能で、積載能力は1ウェーハあたり最大500ポンドです。FPA-3000IWは、高度なOpto-Laserアライメントマシンを使用して、各ウェハの向きを正確に検出および識別します。この技術とサーボモータツールを組み合わせることで、より高い精度でウェーハを正確に再配置することができます。このアセットは、ウェーハ表面のずれや微小な不規則性を検出することも可能で、脆弱なウェーハを処理する際の精度と完全性を向上させることができます。ユニークな光輸送モデルにより、生産作業をさらに最適化します。また、高速追跡技術により生産能力を向上させ、効率的で信頼性の高いウェーハ処理を可能にします。また、FPA 3000IWは、ウェーハの生産パフォーマンスを最適化するいくつかの追加コンポーネントを備えています。このユニットには、安定性と精度を向上させるために空気圧式のX-Yウェーハチャックが装備されています。精密エアーベアリングステージにより、加工時のウェーハの正確な移動を可能にします。また、ダイレクトドライブ高速ファンにより温度制御環境を実現しています。温度管理された環境は、ウェーハの汚染と熱ゆがみを低減するのに役立ちます。ウェーハ検査、キャリブレーション、エッチングシステムなどのその他の高度な機能により、各ウェーハが最高水準に処理されます。FPA-3000 IWは、正確で信頼性の高いウェーハ処理を必要とする生産ラインに最適な強力で効率的なウェーハステッパーです。高度なアライメント、光輸送、温度制御技術を活用し、生産品質の高いウエハを一貫して正確に生産することができます。CANON FPA-3000IWは、高速性能、高速追跡装置、各種センサおよびアクセサリを備え、正確で信頼性の高い高品質のウェーハ処理を必要とするあらゆる作業に最適なソリューションです。
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