中古 CANON FPA 3000 i5 #9311794 を販売中

CANON FPA 3000 i5は、世界をリードするウェーハステッパーであり、DNAナノテクノロジー向けに設計された最先端のリソグラフィーシステムです。これは、<2nmオーバーレイと<5nmオーバーレイと最大150nmの100nm以下のパターンをイメージングすることができます。この強力なツールは、フォトマスクパターニング、サブリゾリューションのリソグラフィ、半導体、データストレージ技術などの高精度アプリケーションに最適です。i5ウェーハステッパーは、超高解像度とダイナミックレンジ、高速と信頼性、低メンテナンスコストと使いやすさを特徴としています。CANON FPA 3000I5は、主に照明モジュール、ウェーハステージ、カラムで構成されています。照明モジュールは、ウェーハに明るい光源を提供し、非常に広い視野と大きな数値開口を可能にします。光源の高輝度と広い視野の組み合わせにより、システムは非常に高精度で特徴を画像化することができます。また、光源には、発光する光の波長を変えることができるフィルターがセットになっており、画像化されているウェハの光源、強度、スペクトル感度を制御することができます。ウェーハステージは、ウェーハホルダー、レーザーダイオードアライナー、運動軸、zモータで構成されています。ウェーハホルダーはステージからウェーハを確実に挿入して除去しますが、レーザダイオードアライナーはウェーハをステージに迅速かつ正確に配置するための光学的手段を提供します。運動軸とzモーターにより、ユーザーはウェーハをあらゆる方向に正確に移動させ、基板を視野全体に効果的にスキャンできます。ステージにはオートリセット機能もあり、さまざまな露出プロセスの露出設定を素早くリコールできます。FPA-3000 I5は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを介してアクセス可能であり、強力なオンボードコンピュータによって制御されます。露光時間、露光速度、光強度などの動作パラメータも調整でき、ユーザーは特定の製造プロセスやアプリケーション要件に合わせてリソグラフィーツールを調整することができます。さらに、ユーザーはウェーハステージの速度と照射領域の位置を調整できるさまざまなカスタマイズオプションにアクセスできます。CANON FPA-3000 I5は、フォトマスクパターニング、サブリゾリューション、半導体製造プロセスに最適なツールです。高解像度、ダイナミックレンジ、および効率により、i5はユーザーが多数のアプリケーションのためにデバイスのコンポーネントとコンポーネントを迅速かつ正確に製造することができます。直感的なユーザーインターフェイス、カスタマイズ可能なインストゥルメント設定、メンテナンスコストの低いi5は、ナノテクノロジー部品の製造に携わるエンジニアや科学者にとって非常に貴重なツールです。