中古 CANON FPA 3000 i5+ #9296955 を販売中

CANON FPA 3000 i5+は、最大300mmのウェーハを高精度に露出するように設計されたウェーハステッパーです。200mmのLens-on-Chip （LOC）モジュールを備えており、用途は36mmで、5ナノメートルの解像度で高精度の露出を提供します。ステッパーはLED、 MEMSおよび他の光電子工学の適用を含む6"から300mmまで生産の広い範囲を、扱うことができます。ウェーハアライメントのサブミクロン精度を提供する3レベル機器アライメントオートフォーカス機構を搭載しています。さらに、内部露出モニターは露出ショットごとに露出値を記録し、信頼性の高い追跡システム性能を提供します。CANON FPA 3000I5+は、レーザー干渉計ビームアライメントユニットを搭載し、露出ショットごとに正確に調整することができます。さらに、ステッパーにはセンサーレスのアライメントマシンが搭載されており、フィールドごとに複数のダイを効率的にアライメントできます。このツールはまた、経由またはトレンチアライメント機能を掘削する機能を提供します。全体的に、FPA-3000 I5+は、露出の解像力、精度、信頼性を向上させます。ステッパーはまた、光学および電気メンテナンスのための様々なオプションを提供しています。これらには、ランプ制御ボード、コリメーターボード、フィードバックアンプ基板、電源ボード、クーラント配電ボード、シャッター制御ボードが含まれます。これらのオプションに加えて、アセットは露出と処理による潜在的な損傷からウェーハを保護するように設計されています。これは、フィードバック機構と過剰投与プロテクター、およびエラー検出機構を備えた過剰露出制御の利用によって達成されます。FPA 3000 I5+はメンテナンスを最小限に抑えて設計されており、ウェーハステッパーに通常必要な25〜45個の部品と比較して、アームあたりの合計18個のみを備えています。さらに、ステッパーは所有コストも低く、長期的なパフォーマンスにも定評があります。また、精密光学系で有名なキヤノンは、業界トップクラスの3ミクロン以下のアライメント精度と、平均166ウェーハ/時を誇る生産モデルを開発しました。全体として、CANON FPA 3000 I5++は信頼性が高く、精密なウェハステッパーであり、様々なオプトエレクトロニクス生産アプリケーション向けに高品質のウェハーを製造するために設計されています。FPA 3000 i5+は、堅牢な設計、パフォーマンス向上のシステムおよびオプション、および所有コストの低さにより、生産要件に合わせて信頼性の高い正確なソリューションをユーザーに提供するように設計されています。