中古 CANON FPA 3000 i5+ #9280839 を販売中

CANON FPA 3000 i5+は、最先端のリソグラフィ用途向けに設計された、高速、小型フィールドのリソグラフィ装置です。このシステムの2段階の光学設計では、高NAの大面積レンズを使用して、最高解像度、最小のフィーチャサイズ、および2倍または6倍のレチクルの最高スループットを実現しています。キヤノンの最先端オプトメカニカルユニット設計により、フィールドサイズ5。5mmの堅牢なユニットで、信頼性の高い安定した動作と幅広い露光範囲を提供します。また、高度なフライトマシン、アライメント、測定機能により、このツールはさらに簡単なメンテナンスと操作を提供します。CANON FPA 3000I5+は、世界有数の半導体メーカーの最も厳しい要件を満たすように設計されています。これは、300mmリソグラフィで最も要求の厳しいアプリケーションのために、高度な線量制御および測定方法と組み合わされた業界最高解像度の投影光学を備えています。高精度の光学ユニットは、高度なスキャン露光に優れた解像度と露光忠実度を提供します。キヤノン独自の非対称補正技術により、オーバーレイ精度を最適化し、小さな捕食誤差を低減します。エアベアリング設計は、高精度な位置決めと安定した動作を提供し、さらに高い加工信頼性と歩留まりを可能にします。高度なX-Yステージデザインは、クローズドループの位置精度と速度/加速度制御を備えています。FPA-3000 I5+には、多周波数アライメント測定、スルーフォーカスキャン、独自の露出制御技術など、多くの標準機能とオプションがあります。全体的に、FPA 3000I5+は300mmのリソグラフィの適用のための理想的な資産です。堅牢な設計、高精度の光学系、高度な露光制御により、小分野リソグラフィに最適で、トータルコストを最小限に抑え、最高の解像度とスループットを実現します。包括的で信頼性の高いパフォーマンスと相まってインテリジェントなデザインは、このモデルは、高度な技術とパフォーマンスを探している人のための優れた選択肢になります。