中古 CANON FPA 3000 i5+ #9258600 を販売中
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販売された
ID: 9258600
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Stepper, 8"
PC Model: EWS B180L
Wafer standard: JEIDA
Wafer type: Notch
Reticle type: 6"
Material: Quartz
Changer type: HITACHI
Case type: HITACHI
Optical system:
Magnification: 1/5
Field size: 22 mm
NA: 0.63~0.45
Screen size: 6"
Illumination system:
Ultra-high pressure mercury lamp 2.0 kW
σ: 0.7~0.3
Estimate exposure light control
(4) Independent blades
Wafer loader type: Notch, 8"
Wafer holder type: Notch, 8" TIO2
Wafer / Reticle alignment:
Clear vision field image processing
Wafer alignment:
Alignment light: HeNe Laser / Broad band
Mode: AGA
Reticle alignment:
Alignment light: i-Line
XY Stage:
3-Axes laser interferometer
Stroke:
X: 115mm ~ -115mm
YX: 115mm ~ -115mm
2000 vintage.
CANON FPA 3000 i5+ウェハステッパーは、キヤノンがハイエンドのリソグラフィ作業用に製造した高度なステップおよびリピート装置です。このシステムは、リソグラフィ業界でトップのリソグラフィーシステムの1つとしてリストされています。これは、i5スキャナ、レンズ、レチクル、イメージングボードなどの基本コンポーネントからなる完全に統合されたプラットフォームです。i5スキャナは、ユニットのコアにあります。従来の標準スキャナの2倍の高速処理が可能で、高精度です。このスキャナには、キヤノンの高度なiMO (Intelligent Multi-level Optimization)技術も搭載されており、高用量の均一性と画像平坦性を必要とする高度な露光アプリケーションに高信頼性のソリューションを提供します。CANON FPA 3000I5+のレンズは、焦点画像の収差を補正するために設計された視野平坦化レンズです。これにより、画像の解像度と一貫性が向上します。レチクルは、ゴースト収差を低減し、イメージコントラストを改善するために設計された9スライスタイプです。最後に、イメージングボードは、安定した正確な画像転送メカニズムを提供するために、i5スキャナとレンズマシンと統合されています。このイメージングボードは、高級リソグラフィ用途向けに特別に設計されており、レチクルから生成されたパターンが元のデザインに忠実であることを保証します。全体として、FPA-3000 I5+ウェーハステッパーは、ウェーハリソグラフィーソリューションの信頼性の高いプラットフォームを提供する高度なステップおよびリピートツールです。最先端のコンポーネントにより、この資産は、可能な限り最高の画像忠実度と超高用量の均一性をユーザーに提供することができます。このモデルは、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、およびその他の精密リソグラフィ操作の用途に適しています。
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