中古 CANON FPA 3000 i5 #9194604 を販売中
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ID: 9194604
ヴィンテージ: 1996
i-Line stepper
Console:
EWS: 715/100
Built in console: X-terminal
Auto feeder, 8"
Type 6: Right
PA Type: Flat
Inline
Edge exposure (EBR)
Reticle size, 6"
(14) Library slots
Cassette type: CANON
Option:
BCR: No
CBR: No
PPC,RPC: No
Wafer stage:
Type: Flat
Laser interfermeter: Zygo (No)
Chuck type: 2-Layer pin
Maintenance kit: No
Active mount
Illuminatior: 2kW
Clean chamber:
RASCO /TBW-CD-82
C-Oil level : Normal
UPS: No
Stepper: 3P, 200V, 33kVA
Missing parts:
D-Rack
PCB, P/S
1996 vintage.
CANON FPA 3000 i5は、最先端の半導体アプリケーション向けに設計された高性能ウエハステッパーです。この最先端のマシンは、他のウェーハステッパーと比較して光学性能を25％向上させる独自の革新的な技術であるImproved Resolution Image Metrology （IRIM）を使用しています。非常に高解像度のイメージング装置を備えており、最も正確な検査および検査結果を提供します。CANON FPA 3000I5は、5ミクロンの解像度でスキャンが可能なウェーハ表面の画像を作成するための高出力5kWダイオードレーザーを使用しています。IRIMシステムは、レーザー干渉計を使用してウェーハの表面プロファイルを測定し、1ミクロンの深さでプロファイルを正確に測定します。これは、回折光元素（DOE）を使用して画像を4つのセクションに分割し、IRIMユニットで最高の精度で分析することによって実現されます。また、オートフォーカスのオプションを使用して、検査の最高精度を保証します。FPA-3000 I5は、最高品質の検査結果を保証するために、あらゆる方向に精度を提供する業界をリードする精密アライメントツールを備えています。このアセットには高速回転ステージが装備されており、1。1ミクロンの精度を維持しながら、1ミクロン以内にアライメントが一貫していることを保証します。また、最大12軸の駆動が可能な高精度ドライブモデルを搭載し、半導体業界で最高品質のウェーハアライメントを提供します。また、パーティクル分析用の特許取得済みのUSBベースのシステム、ハイテクな空力バランス、小粒子除去用の強力なピンセット装置など、さまざまな高度な測定ツールも含まれています。リアルタイムデータ収集ユニットは、継続的なデータとグラフ分析を可能にし、ユーザーにウェーハの状態とパフォーマンスに関する洞察を提供します。キヤノンFPA-3000 I5は、市場で最も先進的なウェーハステッパーの1つであり、優れた精度と検査結果を提供します。この機械は光学性能を25％向上させ、今日の複雑な半導体プロセスに最適な精度を提供します。これは、最高の精度と結果を求める半導体企業にとって非常に貴重なツールです。
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