中古 CANON FPA 3000 i5 #9086289 を販売中

CANON FPA 3000 i5 Wafer Stepperは、スループットを向上させ、次世代デバイス製造およびウェーハ生産の厳しい要件を満たすように設計された精密アライメント装置です。このシステムは、5軸4ミラースキャン光学ユニットを使用して、リソグラフィ工程での高精度かつ高精度な再現性を実現します。CANON FPA 3000I5 Wafer Stepperは、4インチまたは6インチまでのウェーハを高精度に処理できます。さらに、このマシンは高度なリソグラフィーソフトウェアを使用して、ウェーハアライメントとウェーハ露出プロセスを自動化します。FPA-3000 I5ウェーハステッパーは、ウェーハ処理中に精度と汎用性を提供するように設計された光学的および機械的特徴の配列を備えています。メカトロニックアクチュエータは、精密な機械的運動を提供し、高品質の画像と最小限のアライメントエラーの両方を生成することができます。さらに、2台のレーザパターン認識カメラにより、リソグラフィ用途の高解像度画像取得とデータ入力が可能です。アセットには、ウェーハを正確に整列させ、リソグラフィープロセス中に露出パラメータを正しく調整する高度なアライメントアルゴリズムも備えています。CANON FPA-3000 I5 Wafer Stepperには、高精度イメージングレンズや高解像度ズームレンズなどの先進的な光学モデルも搭載されており、露光ステージ間の正確な焦点距離調整とフォーカスマッチングが可能です。これにより、一貫して高い露出精度が保証され、露出プロセス中の高い再現性が保証されます。ステッパーはまた、単一の統一された露出手順で露出とスキャンを統合する特許取得済みの露出装置を使用しています。包括的な診断システムは、FPA 3000 i5ウェーハステッパーに不可欠です。静的イメージパターン評価、動的イメージパターン評価、レーザパターンアライメント、パフォーマンス評価、露光パラメータの自動調整など、さまざまな高度な機能を提供します。さらに、以前のプロセスからの保存およびアーカイブされたデータを使用して、必要に応じて迅速かつ効率的なプロセスのフィードバックを提供できます。最後に、FPA 3000I5 Wafer Stepperは、オペレータの作業負荷を低減し、効率性を向上させるように設計されたユーザーフレンドリーな機能のフルレンジを備えています。完全に統合されたコントロールにより、露出とスキャンプロセスが適切に制御され、最適化されます。直感的なユーザーインターフェイスにより、さまざまな露出とスキャンパラメータに簡単にアクセスできます。さらに、キヤノンレーザー画像処理ソフトウェアと互換性があり、高度な露光およびスキャンルール構成、データ分析、レポート生成が可能です。CANON FPA 3000 i5 Wafer Stepperは、最新のデバイス製造およびウェーハ製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計された、信頼性の高い高性能なツールです。