中古 CANON FPA 3000 i5 #9068403 を販売中
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ID: 9068403
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1999
Fine pattern aligner, 8"
Reticle: 6"
RtL with ACT8 1.5BL (SG 24786)
Console:
HP 715
X-terminal
Auto feeder:
A/F type: Type-VI-L
W/F size: 6" flat
Inline: Yes
Edge exposure: No
Reticle changer: 6"
Library slot no: 12
Option: PPC
Cassette type: Nikon
Wafer stage:
Flat type
Laser interferometer: Zygo 3-axis
Chuck: 6" pin
Illuminator: i-Line Hg lamp
Clean chamber:
Rasco TBW-CD-83
Image rack:
No Part No Description
1 BG4-6632 TV Image CPU PCB
2 BG4-9715 ADP-2 PCB
3 BG9-4084 ACC-1 PCB
4 BG9-4085 ACC-2 PCB
5 BG9-3501 IMP2 PCB
6 BG4-6582 HRD Processing PCB
VME rack:
No Part No Description
9 BG4-6628 CAM UNIT
10 BG3-2462 Main CPU PCB
11 SPARE
12 SPARE
13 BG4-6631 CDIF PCB
14 BG4-6629 Stage CPU PCB
15 SPARE
16 BG4-9217 DSP
17 SPARE
18 BG4-6465 Measurement PCB (X)
19 BG4-6466 Measurement PCB (Y)
20 BG4-6467 Measurement PCB (Θ)
21 SPARE
22 BG4-9175 MLE IF PCB
23 BG4-9191 XY PRE2 PCB
24 BG4-6459 OFCD IF PCB
25 BG4-9151 FZANA PCB
26 SPARE
27 BG4-7937 CCD OPTF CAP2 PCB
200V/3P/28.0KVA , 200V/1P/4.5KVA
1999 vintage.
CANON FPA 3000 i5は、高性能リソグラフィと高度な微細加工用に設計された精密ウェハステッパーです。キヤノンFPA 3000I5は、800mm x 800mmのフィールドサイズで、最大80nmの解像度の高精度パターニングを実現する高度な光学イメージング装置です。このシステムには、Installed Source Deuterium （ISDe）レーザーソース、強化シリーズマスクチェンジャー、新設計のステージアンプ、カスタム開発された制御ソフトウェアなど、さまざまなハードウェアおよびソフトウェア機能が装備されています。また、最大4K fpsのイメージング性能と、精密スキャン用の電動ポジショナー（MP-1400）、画像を直接見るための高解像度2MPモニターを備えています。FPA-3000 I5は、MEMS、半導体、バイオ製造プロセスなどの高度なリソグラフィープロセス用に設計されています。高解像度のイメージング機能により、高精度で高い歩留まりと高速スループットを実現します。その統合されたソース重水素（ISDe）レーザー光源は、広いスペクトルを持つ光源を可能にし、リソグラフィープロセスのより大きな深さと柔軟性を提供します。新しいシリーズマスクチェンジャーは、複数の露出源とマスクを処理することができ、より高いレベルの精度とプロセスのより柔軟性を提供します。CANON FPA-3000 I5には、ステージの振動やスキャンを改善するための強化されたモーターと制御アルゴリズム、および新たに設計されたステージアンプが含まれており、精度が向上し、測定時間が短縮されます。このマシンには、柔軟性と安定性を提供するカスタム開発の制御ソフトウェアと、ユーザーフレンドリー性の向上も含まれています。これにより、ダウンタイムを最小限に抑えながら、より良い結果とより正確な測定が保証されます。FPA 3000 i5はモジュラーアーキテクチャで設計されており、さまざまなアプリケーションの課題に対応する際に、より汎用性と柔軟性を高めます。オープンフレームワークを備えており、他のシステムとの統合が容易になります。FPA 3000I5は、最高の精度と精度で、高解像度パターニングを実現するための理想的なツールです。
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