中古 CANON FPA 3000 i5+ #9065380 を販売中

CANON FPA 3000 i5+は、80mm、 100mm、 200mmウェーハの高効率かつ高精度な露出を実現する高性能ウェーハステッパーです。最新のイメージングオプティクスと先進技術を搭載し、高精度なパターンの信頼性を確保しています。CANON FPA 3000I5+は、世界最先端のウェーハステッパーと呼ばれる、他のウェーハステッパーモデルよりも優れた製品です。ステッパーにはインテリジェント制御ロジックが搭載されており、正確なパターン配置とシステムの生産性の向上を可能にします。また、高速スキャンと表示機能のための洗練されたSmartView Irisを搭載しています。また、200mmウェーハなどの大型ウェーハでの残像歪みを軽減することができます。FPA-3000 I5+は、ウェーハのプリアライメントとポストアライメントの露出において優れた精度を実現する数多くの優れた機能を備えています。デュアルオプティクスシステムは、2つのウェーハの同時露出を提供し、生産時間の並列化を促進します。また、ウエハステッパーには、UHNA （Ultra High Numerical Aperture）光学設計が採用されており、0。10マイクロメートルまでの分解能を実現しています。これにより、極端な画質で困難な回路構造に十分な精度が保証されます。さらに、FPA 3000I5+にはオプションのEdge Scannerが搭載されており、Irisと連携してウェーハのエッジを自動検出し、認識精度を最適化します。APPモジュールを使用すると、さまざまなウェーハスループット構成のフォトマスクを簡単に挿入、制御、および検査できます。まとめると、FPA 3000 i5+は現在最も先進的なウェーハステッパーです。デュアルオプティクスシステム、UHNAオプティクス、エッジスキャナーは、優れた精度とイメージング機能を提供し、高精度パターンの信頼性の高い生産を保証します。さらに、APPモジュールを使用すると、アライメント後の露出を完全に制御できます。CANON FPA-3000 I5+のこれらの機能を活用することで、80mm、 100mm、 200mmウェーハの高効率かつ高精度な露光が期待できます。