中古 CANON FPA 3000 i5+ #293829393 を販売中

CANON FPA 3000 i5+は、最大0。2 μ mの解像度を持つコンパクトで多段階のフォトリソグラフィーステッパーです。これは、5〜200mm径の半導体デバイスに至るまで、多数のウェーハ基板に高精度のパターン転送用に設計されています。ステッパーは、一連のミラー、レンズ、フィルターを使用して、紫外線を使用してウェーハ上のパターンを生成します。このデバイスは5段階の設計に基づいており、1つのメインステージと4つの独立したステージがあります。各ステージには、電動XY制御用に構成された静的ミラーと動的ミラーが装備されています。この装置は、ダウンタイムを最小限に抑えながら、複数のウェーハの正確で再現可能なアライメントと露出を単一で実行できます。また、一貫した正確な露光時間を実現する電動校正システムも内蔵しています。ステッパーは、0。2 FPA-3003 mの解像度を持つ高解像度非球面レンズであるCANON μ I-5+を含むレンズの範囲を装備することができます。このユニットは、調整可能な画像フィールドで構成することもでき、さまざまなサイズ範囲のパターンの最適な露出を可能にします。ステッパーは、自動フィジカル、マルチアラインセンサー、エアフロートZ軸カメラシステムなど、さまざまなイメージングツールと互換性があります。また、+/-0。1 μ mのステップアンドリピートから+/-5 μ mの任意のシフト移動まで、さまざまな精度と再現性を備えています。さらに、ステッパーは、最大直径10インチのユニファイドウェーハマウントをサポートし、自動基板交換機を提供し、基板交換を容易にする自動調整ツールを備えています。このアセットは、自動測定、ラインエッジ検出、コントラストエンハンスメントセンサーなど、さまざまなセンサにも対応しています。ステッパーはまた、熱制御と+3〜+20°の範囲内でそれを維持し、機器全体の温度を制御する振動低減モデルを組み込みます。また、0。2 μ mの解像度でオブジェクトやポイントをトレースすることができるスキャナーシステムを提供します。これらの機能により、高精度のパターン転送と再現性を実現します。全体的に、CANON FPA 3000I5+は、調整可能な画像フィールドとさまざまなセンサーを備えた多段階フォトリソグラフィーユニットです。無数の異なるウエハ基板への高精度パターン転送用に設計されており、半導体デバイスの生産に数多くの用途に適しています。