中古 CANON FPA 3000 i5+ #293827690 を販売中

CANON FPA 3000 i5+は、半導体デバイスや集積回路の製造に使用される先進的なウェハステッパーです。この装置は、高解像度アライメントシステムを含むさまざまな機能と利点を誇っています。絶えずサンプル平坦を維持し、ユーザーの調節なしで高精度の焦点を提供する自動焦点の特徴；付加的な2軸回転段階は露出線量および線量の均等性のより良い制御を可能にします；そして高いスループットの適用を支える高出力8波長レーザー。CANON FPA 3000I5+は、10ピコ秒の最大コントローラジッタで、非常に高速なサンプリングとステップアンドリピート速度の恩恵を受けることができます。デバイス内部の温度変動を低減することで、FPA-3000 I5+は複数のウェーハにわたって露光量を均一かつ均一に保つことができます。サンプル変形による金型ずれを防止し、プロセスの信頼性を向上させます。また、超精密露光ユニットにより、ダイツダイの一貫性が向上し、生産性が向上します。FPA 3000 i5+は、追加のプロセス制御機能のためのオプションのXYステージも備えています。このXYステージは、高性能で密閉された軸受タイプで、正確な位置決めと安定性を提供します。また、スピンマスターデバイスの使用をサポートし、フォトレジストパターン偏差評価、高精度アライメント、露光線量試験などの高度なプロセス制御技術を可能にします。また、CANON FPA-3000 I5+には可動式パレット設計が統合されており、高速ジョブの切り替えやウェーハのローディングが可能です。露出設定、結果、露出前レシピなど、各バッチに必要なすべての情報をキャプチャします。デュアルディスプレイタッチパネルを使用すると、オペレータはプロセスの状態、現在の露出、およびレシピ設定を同時に監視できます。結論として、CANON FPA 3000 I5++は、超精密プロセス制御用に構築された高性能ウェーハステッパーです。高解像度アライメントマシン、オートフォーカス、8波長レーザーを備えた3000 i5+は、高いスループットアプリケーションで正確な露光と再現可能な結果を得ることができます。XYステージと直感的なツール設計を組み込むことで、半導体デバイスと集積回路の信頼性と正確な生産を保証します。