中古 CANON FPA 3000 i5+ #293817803 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 293817803
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45-0.63
Resolution: 350 nm
DCO: 50
Throughput (wph): 100-200.
CANON FPA 3000 i5+aウェハステッパーは、半導体基板上の非常に繊細な部品を製造するために設計された高度な光学リソグラフィ装置です。ハイエンドステッパーを使用し、サブミクロン分解能で基板を細かくパターン化します。CANON FPA 3000I5+は、非常に小さな基板の一貫した正確な処理を保証する高い再現性と精度のレベルを備えています。FPA-3000 I5+は、露光精度のためのステップアンドリピートプロセス、画像安定性の向上のためのミラーエイドイメージング(MAI)、微調整フィルムの特許取得済みレジストコーティング技術など、さまざまな高度なリソグラフィ技術を利用しています。また、高精度レンズユニットに合わせた高出力キセノンフラッシュランプを搭載し、最大光量とエッジ間の明瞭さと均一性を提供します。CANON FPA 3000 I5++には、制御ソフトウェア、基板マッピング用の高精度エッジプロファイルセンサ(EPS)、幅広い露光分野をカバーする最先端の可変ピッチ変換レンズ、ペリクル保護技術、最適な性能のための温度制御などの追加機能が搭載されています。FPA 3000 i5+はモジュール式に設計されており、大量の生産ニーズや特殊なプロトタイピング要件など、特定のアプリケーション要件を満たすように簡単に構成できます。また、ウェーハステッパーを使用すると、ダイスタックを構成して高解像度のイメージングと高速スループットを実現できます。CANON FPA-3000 I5+は、基板から基板への加工やステップアンドリピート方式など、優れた加工柔軟性を提供します。その洗練されたリソグラフィ技術はまた、優れたフィルムの均一性を保証し、一貫した製品品質を保証します。さらに、このマシンの高度な制御ツール、コンピュータ支援診断、包括的なサービス機能により、大量の生産実行やカスタムプロトタイピングのニーズに最適なソリューションとなります。
まだレビューはありません