中古 CANON FPA 3000 i5+ #293815249 を販売中

CANON FPA 3000 i5+は、マスクレスフォトリソグラフィーシステムの生産のためのハイエンド露光システムを提供するように設計された高度なスキャンステッパーです。比類のない精度、精度、スピードで露出を実現するように設計されています。CANON FPA 3000I5+は、格子配列露出マスクと呼ばれる格子を利用した光学機器を使用して、ステージ上でより正確で均一な露出を提供します。この格子は周期的に間隔をあけられたマイクロパターンの配列で構成されており、高精細画像はぼやけたり歪んだりすることなく、露光ステージに正確に投影することができます。このシステムでは、2つの干渉測定スキャナ（IMS）を使用して、露出ステージにさらされているマスクの位置の正確さを保証します。これは特に重要です。なぜなら、わずかな位置の誤差であっても、完成したデバイスの大きな欠陥につながる可能性があるからです。2つのスキャンモードがあり、異なるタイプのデバイス製造要件に対応できます。また、FPA-3000 I5+は、特許取得済みの誘電性フィルムマスクパターニングマシンなどの高度な投影およびマスクレスパターニング技術を採用しており、デバイス製造プロセスのライフサイクルにわたって露出と再現の一貫性の精度を大幅に向上させます。これは、投影マスクの光導電領域の充電状態を制御することによって行われ、より正確で一貫した画像投影を可能にします。さらに、高度な投影光学は、より大きなスキャン場を可能にし、大量の生産プロセスに不可欠な特定のタスクに必要な露光時間を短縮するのに役立ちます。FPA 3000 i5+は高い柔軟性と拡張性を備えて設計されているため、デバイス製造プロセスの変化するニーズに最適です。さらに、最も密集した表面でも正確で正確で再現性のある露出を提供しながら、ダウンタイムをほとんどなく、連続的に実行するように設計されています。また、カスタマイズ性が高く、想像できるほぼすべての半導体製造プロセスに適応することができます。ウエハレベルからコンポーネントレベルシステムまで、FPA 3000I5+は比類のない性能、精度、速度を提供するように設計されています。