中古 CANON FPA 3000 i5+ #293625346 を販売中

CANON FPA 3000 i5+は、半導体製造およびイメージングアプリケーション向けの最先端のウェハステッパーです。新しいHAR （High-Acceptance-Rate）テクノロジープラットフォームに基づいて、スループット、フィールドサイズ、コスト、およびユーザーの柔軟性の観点から、従来のウェーハステッパーで向上します。ステッパーは、振動とフットプリントサイズを低減するツインコラムのガントリー構造設計を特徴としています。最大1。1ナノメートルのスキャンパターン精度を実現し、100mm〜500mmの範囲でウェーハを正確にアライメントし、均一な照明と高い歩留まりを実現します。このシステムには、交互位相シフトマスク（PSM）とバイナリマスクスポットの歪みを補正する二重層マップ補正機構も組み込まれています。これによりオーバーレイエラーを低減し、複雑なデバイスの製造コストを最小限に抑えます。i5+クアッドコアプロセッサとImage Logic Control Suiteソフトウェアを搭載したスキャンモード+キューモードでは、ステッパーは1時間あたり最大65ウェハ、1時間あたり最大85ウェハを処理できます。光メカニカル設計により、最大0。2nmの高精度フォーカス補正を実現し、高品質な表面仕上げを実現します。CANON FPA 3000I5+では、負荷と洗浄の強化、優れたイメージングのための光学機能、オペレータの利便性と保護のための安全機能など、一連の高度な機能を備えています。エアコン完備のワークスペースと高度なエアマネジメント、技術機能の向上により、低コストで低ノイズの操作が可能です。さらに、リモートイメージ取得、OPCおよびMESサポート、システム監視など、さまざまな接続オプションが組み込まれています。これにより、既存のファブラインやシステムに直接統合できるため、システムの効率化とコスト削減を実現できます。結論として、FPA-3000 I5+は強力な機能とコンパクトなデザインを備えた高度なウェーハステッパーです。最新のHARテクノロジーにより、高いスループット、正確性、歩留まり、柔軟なオプションと接続性を提供し、既存のシステムにシームレスに統合できます。その高度な機能のおかげで、このステッパーは高品質の半導体製造とイメージングのための信頼できるツールです。