中古 CANON FPA 3000 i5 #293615953 を販売中

CANON FPA 3000 i5は、高度な半導体アプリケーションに優れた性能を提供するように設計されたウェーハステッパーです。光学、リソグラフィ、モーションコントロール技術の最新技術を活用して、従来の光学リソグラフィ法よりも小型で精密な機能を提供しています。キヤノンFPA 3000I5は、高性能ボイスコイルモーターと精密タングステンリニアエンコーダによって駆動される精密アライメントされたステッピングステージを備えています。反復性に優れた基板やレンズの高精度な位置決めが可能です。ステッパーは、幅広い基板やレンズサイズに対応可能です。FPA-3000 I5により、ユーザーはオプションのレンズアセンブリ、調整可能な高さステッピングステージ、および追加のレンズを選択してマイクロリソグラフィーのセットアップを調整し、直径800mmまでの大きなフィールドサイズに対応できます。ステッパーは高解像度のアライメント装置も備えており、システム動作前にレンズと基板を正確にアライメントすることができます。このユニットは、リソグラフィープロセスの各ステップでアライメント精度を確認することもできます。ステッパーは、従来のアークランプや高度なi-line、 KrF ArFエキシマレーザーなど、幅広い照明システムを提供しています。これにより、ユーザーはより高いスループット、より良いイメージング解像度、および改善された生産プロセスから利益を得ることができます。CANON FPA-3000 I5には、ウェーファーカセットローダーやロボット基板ハンドリングマシンなど、さまざまなウェーハハンドリングツールが搭載されています。また、セルフクリーニングなどの高度な自動メンテナンス機能も備えています。ステッパーは、コントローラ、パターンアライメント、レイアウト検証、顕微鏡検査、プロセス最適化、およびモーションコントロール用のソフトウェアツールを備えた高度なリソグラフィーソフトウェアスイートを提供しています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、これらの機能や機能に簡単にアクセスできます。さらに、FPA 3000 i5を使用すると、ウェハの自動識別と認定、データロギングと分析、温度制御など、さまざまなユニークな機能にアクセスできます。このツールは、最適なパフォーマンスを確保するためのレポートと統計データの包括的な範囲を提供します。FPA 3000I5は堅牢で信頼性の高いウェーハステッパーで、半導体業界の競合技術を上回るように設計されています。このアセットは、高度な技術と機能により、従来の光学リソグラフィ技術よりも優れた性能と高いスループットを提供します。