中古 CANON FPA 3000 i5 #293615952 を販売中

CANON FPA 3000 i5は、複数の技術にわたる高度なウェーハ処理に対応するハイエンド光学性能を備えたフルフィールドウェーハステッパーです。高精度のウェーハパターニングと検査機能を提供するように設計されており、1時間あたり最大200ウェーハの出力を提供します。CANON FPA 3000I5は、1〜1ピクセルピッチと95 nm分解能を備えた5メガピクセルのステッピングヘッドを備えており、非常に正確な画像配置とアライメントを実現します。動的に再構成可能な2つの高速ステッピングモータを搭載し、高速かつ正確なウェーハ位置決めとアライメントを保証します。FPAは、5つのレンズと6位置のモーター式ミラーアレイで構成される高速で高スループットの光学システムを採用し、幅広いパターンサイズとシミュレーション分解能の仕様にわたって高解像度のイメージングを提供します。GaAs、 Si、 SOIから石英、高度な有機太陽光発電材料まで幅広い材料を処理できます。FPA-3000 I5には、ウェハエッジアライメントと低消費電力の近接センシング用の統合ウェハレベルセンサーが装備されています。また、高度なウエハ検出用のダークフィールドイメージキャプチャメカニズムを内蔵しており、ステッパーパターン操作に組み込まれたウエハ表面検査が可能です。さらに、ステッパーは、シミュレートされたターゲット登録のために最大4つのPIカーブをサポートすることができ、自動フィーチャーアライメントを可能にします。CANON FPA-3000 I5は、最高の信頼性と動作安定性を確保するために、クラス1000のクリーンルーム環境で設計されています。ウェーハの平坦性をさらに向上させ、粒子状汚染を低減するために、オプションのサブアンビエントドライチャンバーを使用できます。ステッパーには直感的なユーザーインターフェイスが付属しているため、多くのウェーハ操作を簡単に設定し、最小限のユーザー介入で調整することができます。FPA 3000I5は、高速スループットで高精度と精度を提供する効果的で信頼性の高いウェーハステッパーです。デバイス製造プロセスの歩留まりと性能を向上させること、または最先端の光電子材料を開発することが目的であるかどうかにかかわらず、FPA 3000 i5はお客様のニーズに最適なシステムです。